[发明专利]超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法

权利要求书

1.一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）超光滑玻璃镜片精密清洗：去除基底表面上残留的污染物，使基底洁净；

（2）高能离子束刻蚀去除比耳拜层：将精密清洗后的超光滑玻璃镜片放置于装有发散型离子源的真空室内，抽真空，通入流量为F₁的惰性气体，对离子源加激励电源，设置离子束能量为BV₁、束流为BI₁，控制刻蚀速率为V₁，刻蚀深度为D₁，抛光时间为T₁；

（3）多级离子束抛光与化学计量比恢复：将离子束抛光过程分为N级，N=3~100，其中步骤（2）所述高能离子束刻蚀去除比耳拜层为第一级离子束抛光，设定X为第二级至第N-1级离子束抛光，第X级的离子束抛光参数设定为：惰性气体流量F_X=F₁×（1-X/N）、氧气流量FO_x=F₁×（X/N），离子束能量BV_x=200+（BV₁-200）×（1-X/N），束流维持不变BI_x=BI₁，抛光时间Tx=D₁/（NV₁）；第N级的离子束抛光参数设定为：完全关闭惰性气体流量，增加氧气流量至FO_N=F₁，离子束能量降至BV_N=200eV，束流维持不变BI_N= BI₁，抛光时间T_N=2×D₁/（NV₁）。

2.根据权利要求1所述的超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，步骤（1）所述超光滑玻璃镜片rms≤0.3nm。

3.根据权利要求1所述的超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，步骤（2）中所述真空的压力P≤5×10^-4Pa。

4.根据权利要求1所述的超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，步骤（2）所述惰性气体为Ar气或Xe气。

5.根据权利要求1所述的超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，步骤（2）中所述惰性气体的流量F₁为10sccm~20sccm，离子束能量BV₁为500eV~600 eV，束流BI₁为50mA~100mA，刻蚀速率V₁为0.05nm/s~0.15nm/s，刻蚀深度D₁为90nm~150nm，抛光时间T₁为=D₁/V₁。