[发明专利]一种基于MEMS传感器的数字开关

权利要求书

1.一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，包括：

高精度振荡电路，其输出三角波脉冲TCLK，包括积分电路；

多电流镜电路，其输出具有固定偏置的电流；

单脉冲产生电路，其两个输入端分别连接到所述高精度振荡电路和所述多电流镜电路的输出端、其输出时钟脉冲调制所述三角波脉冲TCLK和所述电流且输出交变电流脉冲；

缓冲频率匹配电路，接收单脉冲产生电路输出的交变电流脉冲；

MEMS传感器阵列，接收缓冲频率匹配电路输出的相关交变电流脉冲。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述单脉冲产生电路包括第一NMOS管，其漏极连接到所述多电流镜电路的输出端，其栅极连接到所述高精度振荡电路的输出端，其源极连接到所述单脉冲产生电路的输出端。

3.根据权利要求2所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述第一NMOS管的源极通过第一电阻连接到所述单脉冲产生电路的输出端。

4.根据权利要求3所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述单脉冲产生电路还包括第二NMOS管，其栅极通过反相器连接到所述高精度振荡电路的输出端，其漏极连接到所述多电流镜电路的输出端，其源极通过串联连接的第二电阻和二极管连接型的第三NMOS管接地。

5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述高精度振荡电路，包括

积分电路，依据积分电流的状态产生三角波输出信号；

第一电平检测电路，接收该三角波输出信号，当该三角波输出信号的电平达到第一参考电平时，输出第一检测信号；以及

信号调整电路，依据该第一检测信号使该积分电流呈现第一状态，以改变该三角波输出信号的电压电平，以及依据时钟产生边缘脉冲信号，且依据该边缘脉冲信号将该三角波输出信号的电压电平改变至第二参考电平，以及依据该边缘脉冲信号使该积分电流呈现第二状态，以改变该三角波输出信号的电压电平。

6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述高精度振荡电路，包括

用于提供环路充放电的电流源电路、用于切换环路输出的反相器电路和用于提供相位差的缓冲电路，电流源电路和反相器电路构成环路振荡结构。

7.根据权利要求6所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述的脉冲发生单元，还包括过冲保护电路，接收反相器电路的输出时钟，并选择地泄放电流源电路的输入电源。

8.根据权利要求7所述的一种基于MEMS传感器的数字开关，其特征在于，所述的电流源电路，包括

第一电源；

第一电流源I1，其高电势端连接第一电源；

第一场效应管Q5，其源极连接第一电流源I1的低电势端；

第二场效应管Q4，其源极连接第一电流源I1的低电势端且漏极接地；

第三场效应管Q7，其漏极连接第一场效应管Q5的漏极；

第四场效应管Q6，其源极连接第三场效应管Q7的源极；

第二电源，连接第四场效应管Q6的漏极；

第二电流源I2，其高电势端连接第三场效应管Q7的源极且低电势端接地；

第一电容C2，用于充放电电荷缓冲，其一端连接第一电源且另一端连接第一场效应管Q5的漏极。