[发明专利]辐射源

权利要求书

1.一种辐射源，包括：

流体流生成器，所述流体流生成器包括

贮存器，配置成保持一体积的燃料；

喷嘴，与贮存器流体连接，配置成沿着朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料的流；

激光辐射组件，配置成将激光辐射引导到在等离子体形成位置处的所述燃料的流上，以产生用于产生辐射的等离子体；和

污染物过滤器组件，定位在辐射源的燃料流路中且在喷嘴出口的上游，所述污染物过滤器组件包括过滤介质和过滤介质外壳，

其中过滤介质被所述污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳通过所述过滤介质和所述进口或出口或过滤介质外壳之间的收缩配合提供的夹持力保持在污染物过滤器组件内的适合位置上，所述污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳至少部分地围绕过滤介质并与过滤介质接触，所述燃料是熔融的金属，

过滤介质具有第一部分和第二部分，所述第一部分被夹持在进口或出口或过滤介质外壳处，所述第二部分的外径小于污染物过滤器组件的外壳的内径以在过滤介质和污染物过滤器组件之间产生间隙，

所述过滤介质包括陶瓷材料，

所述进口、所述出口和所述过滤介质外壳中施加夹持力的相应的一者具有与过滤介质接触的内表面；且

所述内表面包括陶瓷。

2.根据权利要求1所述的辐射源，其中污染物过滤器组件的进口或出口和过滤介质外壳彼此收缩配合。

3.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述过滤介质包括下述中的一个或更多个：

陶瓷材料；

包括氧化锆的陶瓷材料；

包括氧化铝的陶瓷材料；

包括碳化硅的陶瓷材料；或

包括氮化硅的陶瓷材料。

4.根据权利要求1或2所述的辐射源，其中所述污染物过滤器组件定位在贮存器和喷嘴出口之间。

5.根据权利要求1或2所述的辐射源，其中过滤介质至少部分地沿着基本上平行于燃料流的方向的方向延伸。

6.根据权利要求1或2所述的辐射源，其中陶瓷浆或聚酰亚胺密封定位在过滤介质和一个或更多的围绕物体中间。

7.根据权利要求1或2所述的辐射源，其中过滤介质的平均孔尺寸小于或等于20μm。

8.根据权利要求7所述的辐射源，其中过滤介质的平均孔尺寸小于或等于5μm。

9.根据权利要求8所述的辐射源，其中过滤介质的平均孔尺寸小于或等于1μm。

10.一种流体流生成器，包括：

贮存器，配置成保持一体积的流体；

喷嘴，与贮存器流体连接，且配置成沿着一轨迹引导流体的流；

污染物过滤器组件，定位在流体流生成器的流体流路中且在喷嘴出口的上游，所述污染物过滤器组件包括过滤介质和过滤介质外壳，

其中所述过滤介质被配置成通过由污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳通过所述过滤介质和所述进口或出口或过滤介质外壳之间的收缩配合提供的夹持力保持在污染物过滤器组件内的适合位置上，所述污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳至少部分地围绕过滤介质并与过滤介质接触，

所述流体是熔融的金属，且

所述过滤介质具有第一部分和第二部分，所述第一部分被夹持在进口或出口或过滤介质外壳处，所述第二部分的外径小于污染物过滤器组件的外壳的内径以在过滤介质和污染物过滤器组件之间产生间隙，

所述过滤介质包括陶瓷材料，

所述进口、所述出口和所述过滤介质外壳中施加夹持力的相应的一者具有与过滤介质接触的内表面；且

所述内表面包括陶瓷。

11.根据权利要求10所述的流体流生成器，其中污染物过滤器组件的进口或出口和所述过滤介质外壳彼此收缩配合。