[发明专利]电子束光刻胶组合物及制备方法

权利要求书

1.一种电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述电子束光刻胶组合物的主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。

2.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述卤代丙烯酸酯共聚物具有式(I)或式(II)表示的结构：

其中，X为F、Cl、Br或I；

R₁独立地选自取代或未取代的C1-C11的烷基；

R₂独立地选自C6-C20的芳基；

R₃为氢或甲基。

3.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述卤代丙烯酸酯单体单元具有如下M-1～M-9表示的结构：

其中，X为F、Cl、Br或I。

4.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述芳香族丙烯酸酯单体单元具有如式M-I-1～M-I-7表示的结构，所述芳香族烯类单体单元具有如式M-II-1～M-II-7表示的结构：

其中，R₃为氢或甲基。

5.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述卤代丙烯酸酯共聚物的重均分子量范围为10,000～3,000,000。

6.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述卤代丙烯酸酯共聚物的分子量分布为1～5。

7.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述光致产酸剂为三苯基锍三氟甲磺酸盐、二(4-叔丁基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐或N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸盐。

8.如权利要求1所述的电子束光刻胶组合物，其特征在于，包括质量百分比如下的各组分：

9.一种电子束光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将卤代丙烯酸酯单体、芳香族类丙烯酸酯或芳香族烯类单体、引发剂按照一定比例溶于反应溶剂中；

步骤二、在保护气氛下，加热至50～120℃，搅拌反应2～24h；

步骤三、从溶液体系中析出步骤二的反应产物，清洗并干燥；

步骤四、将步骤三中析出的反应产物与光致产酸剂、表面活性剂、溶剂及其他添加剂复配。

10.如权利要求9所述的电子束光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述光刻胶溶剂为乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、乙二醇单甲醚、环己酮、苯甲醚中的一种或多种。