[发明专利]一种孔位检具在审
| 申请号： | 201810384003.8 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108507438A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 陈剑 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 固定件 螺纹孔 检具 检测 第二检测 检测孔 检测环 种孔 检测技术领域 间隔设置 孔位检具 | ||
1.一种孔位检具，其特征在于，包括：
检测环，所述检测环上间隔设置有与标准ILC1060靶材的第一螺纹孔相对应的多个第一检测孔，以及还间隔设置有与所述标准ILC1060靶材的第二螺纹孔相对应的多个第二检测孔，所述检测环的内径大于所述标准ILC1060靶材的铝柱体的直径；
以及，多个与所述第一检测孔相对应的第一固定件，以及多个与所述第二检测孔相对应的第二固定件，所述第一固定件的数量大于等于所述第一检测孔的数量，所述第二固定件的数量大于等于所述第二检测孔的数量，在使用所述孔位检具对待检测ILC1060靶材进行检测时，在每个第一检测孔与对应的第一螺纹孔均能通过所述第一固定件进行固定，以及每个第二检测孔与对应的第二螺纹孔均能通过所述第二固定件进行固定时，表明所述待检测ILC1060靶材合格。
2.根据权利要求1所述的孔位检具，其特征在于，所述检测环包括：内环和外环，多个所述第一检测孔设置于所述内环上，多个所述第二检测孔设置于所述内环上，所述外环的高度大于所述内环的高度，所述外环的内径大于所述标准ILC1060靶材的直径。
3.根据权利要求2所述的孔位检具，其特征在于，所述外环的反面与所述内环的反面齐平，所述外环的正面高于所述内环的正面。
4.根据权利要求2所述的孔位检具，其特征在于，所述外环的反面高于所述内环的反面，所述外环的正面高于所述内环的正面。
5.根据权利要求2所述的孔位检具，其特征在于，所述外环的反面距离所述内环的反面的部分与所述外环的正面距离所述内环的正面的部分高度相等。
6.根据权利要求2－5任一项所述的孔位检具，其特征在于，所述外环的内圆的直径选自393.9mm至394.1mm之间的任一数值。
7.根据权利要求6所述的孔位检具，其特征在于，所述外环的外圆的直径选自434.9mm至435.1mm之间的任一数值。
8.根据权利要求2－5任一项所述的孔位检具，其特征在于，所述内环的外圆的直径选自393.9mm至394.1mm之间的任一数值，所述内环的内圆的直径选自353mm至353.2mm之间的任一数值。
9.根据权利要求2－5任一项所述的孔位检具，其特征在于，每个所述第一检测孔的中心位于直径选自379.99mm至380.01mm之间任一数值的圆弧上，每个所述第二检测孔的中心位于直径选自367.99mm至368.01mm之间任一数值的圆弧上。
10.根据权利要求2－5任一项所述的孔位检具，其特征在于，所述第一检测孔的数量为6个，相邻两个第一检测孔之间的角度选自59.95至60.05度之间的任一数值，所述第二检测孔的数量为6个，相邻两个第二检测孔之间的角度选自59.95至60.05度之间的任一数值。
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