[发明专利]一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法在审
| 申请号： | 201810387586.X | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108872083A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙超;丁建军;黄鹏程;兰慧;杨飘;张明杨 | 申请（专利权）人： | 江汉大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人： | 廉红果;谭雪婷 |
| 地址： | 430056 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 六氟乙酰丙酮 前驱体 氢气 福尔马林 化学反应 石英玻璃基 钯纳米颗粒 薄膜检测 薄膜 高浓度氢气 氢气传感器 传感薄膜 化学吸附 零点漂移 氢气检测 相变现象 真空环境 起泡 反应室 高纯氮 支持膜 钇合金 纯钯 基底 氧气 毒化 光纤 检测 响应 保证 | ||
1.一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，其特征在于：包括如下步骤：
（1）首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；
（2）在真空环境下将六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体通入反应室，六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体与石英玻璃基底表面发生化学吸附和化学反应，惰性气体将多余的前驱体和副产物清除；
（3）在真空环境下将福尔马林作为前驱体通入反应室，福尔马林作为前驱体与已经结合在基底的六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）前驱体发生化学反应，再次用惰性气体将多余的前驱体和副产物清除出反应腔，最后在基底上沉积形成传感薄膜；
（4）向薄膜中掺入钇元素后将引起10.42%晶格膨胀，使得氢原子更自由的进出材料晶格内部；
（5）向薄膜中通入不同浓度的氢气，当氢气接触到钯时，被钯捕获并发生化学反应形成氢化钯使得原来纯钯纳米颗粒的光学性能发生改变，透射过传感薄膜的光强得到增强，通过光纤传感器测试平台测得此光强的改变并转换为电压信号。
2.根据权利要求1所述的一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，其特征在于：所述步骤（1）中六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）的量为5克，福尔马林为37%甲醛的水溶液，石英玻璃基底的尺寸为10mm*10mm，数量为10片。
3.根据权利要求1所述的一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，其特征在于：所述步骤（2）中的惰性气体采用氩气和氮气中的一种。
4.根据权利要求1所述的一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，其特征在于：所述步骤（3）中的惰性气体采用氩气和氮气中的一种。
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