[发明专利]一种砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮及其制备方法

权利要求书

1.一种砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮，其特征在于，所述砂轮用于砷化镓晶片的抛光，砂轮由以下体积份数的原料制成：金刚石15~25份、偶联剂2~6份、造孔剂2.5~5.5份、二氧化硅15~25份、氧化铈5~10份、酚醛树脂15~22份；

所述偶联剂为3-缩水甘油基丙基三甲氧基硅烷；

所述造孔剂为可膨胀微球；

所述金刚石的粒径不大于0.5 μm；所述二氧化硅为实心二氧化硅，粒径为1.0~2.5 μm；所述氧化铈的粒径为3.0~5.5 μm；

所述砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮的制备方法，包括以下步骤：

（1）将酚醛树脂研磨成粉状，按体积份数量取各原料，并将所有粉状的原料分别过筛，备用；

（2）将金刚石先经过热碱处理，再充分分散于丙酮中除杂、避免团聚，然后烘干；再加入氧化铈及二氧化硅，混合、过筛，得到混合粉料；

（3）向步骤（2）所得混合粉料中加入偶联剂，混合均匀，再加入丙酮作为分散介质，搅拌超声20~50分钟后，烘干；

（4）将粉状的酚醛树脂与步骤（3）所得产物过筛并球磨混料，再加入造孔剂，混匀、过筛，得到待压料，待压料的粒径小于80 μm；

（5）将步骤（4）所得待压料压制成型，得到坯料；按照形状需要对坯料进行机加工，即得；

步骤（5）所述压制成型控制为：先于压力0.8~1.2 MPa、温度180~200℃的条件下恒温恒压保持1~3分钟，再保持温度不变，加压至4.8~5.2 MPa，恒温恒压保持60~80分钟，脱模；

所述造孔剂在使用前先于60~100℃烘0.2~0.8小时。

2.根据权利要求1所述砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮，其特征在于：步骤（2）中所述热碱处理是将金刚石浸没于80~90℃的碱液中，搅拌100~150分钟，然后固液分离，取固体洗涤、干燥。

3.根据权利要求2所述砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮，其特征在于：所述碱液是质量分数为10%~40%的氢氧化钠溶液。

4.根据权利要求1所述砷化镓晶片抛光用超细抛光砂轮，其特征在于：步骤（5）加压成型时 ，当加压至4.8-5.2MPa前进行放气操作。

5.权利要求1~4任一所述超细抛光砂轮在砷化镓晶片抛光上的应用。