[发明专利]一种将金属裂纹网络转移到聚合物薄膜的方法有效
申请号: | 201810388376.2 | 申请日: | 2018-04-26 |
公开(公告)号: | CN108710265B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 埃泽尔·马丁·阿金诺古;劳伦斯·德·哈恩;高进伟;薛亚飞;周国富;金名亮;迈克尔·吉尔森 | 申请(专利权)人: | 肇庆市华师大光电产业研究院;华南师范大学;深圳市星国华先进装备科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/38 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 任重 |
地址: | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 裂纹 网络 转移 聚合物 薄膜 方法 | ||
1.一种将金属裂纹网络转移到聚合物薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1.在基底上沉积无定形碳,形成润滑层,在润滑层上沉积具有裂纹网络的金属薄膜;
S2.在S1沉积了金属薄膜的基底上涂覆能与基底发生交联反应的物质,形成交联层,在交联层上使用聚合物前驱体发生聚合反应并形成聚合物,聚合物再与金属薄膜的裂纹网络直接聚合并交联;
S3.将聚合物剥离基底,具有裂纹网络的金属薄膜同时转移到聚合物上;
其中,步骤S1中所述基底为玻璃,步骤S2中涂覆具有氟烷尾基的液态硅烷,玻璃表面与具有氟烷尾基的液态硅烷的硅烷部分反应,从而在玻璃上形成单层的氟烷尾基;
所述具有裂纹网络的金属薄膜的厚度为50~300纳米。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中在光刻模板上沉积无定形碳。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中用水或有机溶剂清洗,或直接超声处理去除光刻模板。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S2中涂覆的操作包括旋涂法、浸渍法、棒涂覆法或刮涂覆法,形成聚合物后,采用溶剂洗涤除去表面过量或未键合的分子。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中沉积的无定形碳的厚度大于5纳米。
6.一种权利要求1所述的方法制备得到的聚合物薄膜。
7.权利要求6所述的聚合物薄膜在柔性电子器件组装或响应性表面涂层材料制备中的应用。
8.根据权利要求7所述的应用,其特征在于,聚合物薄膜为液晶弹性体薄膜。
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