[发明专利]固定脉宽腔内倍频紫外激光器以及操作方法

说明书

本发明公开了一种固定脉宽腔内倍频紫外激光器以及操作方法，包括第一双波长反射镜、第二双波长反射镜以及平凸透镜、声光开关、第一激光腔镜、激光晶体、第二激光腔镜、激光反射镜、二倍频晶体、三倍频晶体，所述第一双波长反射镜放置在电动平移台上，通过改变所述第一双波长反射镜的位置，改变激光器的腔长。本发明提脉宽恒定，即在一定的频率范围内能够保证脉宽的不变性，同时无论是在低重频下和高重频下都能够使用最高的泵浦功率，这样无论是在低重频还是高重频都能够实现最高的能量输出。

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，特别是涉及一种固定脉宽腔内倍频紫外激光器以及操作方法。

背景技术

近年来高功率高光束质量的激光器在各行材料加工行业的应用得到迅猛发展，激光器种类繁多：按照结构的不同分为气体激光、固体激光、光纤激光、半导体激光，成为支撑材料加工行业的主流；其波长范围从远红外到深紫外均能覆盖到(200nm～20um)，不同的行业亦会使用到不同的功率范围，不同的光束质量，不同的激光输出方式等等。在加工薄膜非金属材料，半导体晶圆切割，有机玻璃切割、钻孔、打标等领域为了减少热效应影响，希望小孔径光斑作用及高峰值功率，紫外激光的作用和地位就是那么的出色和不可替代。

对于金属加工的波长多为红外波段，以期望高功率高热量来作用加工金属，但其红外或可见光通常靠产生高亮度的局部加热使材料气化、熔化的方式来进行加工。但这种热量会导致激光作用区域的周边材料受到影响甚至被破坏，因而限制了加工边缘质量和工业应用范围。而紫外激光是短波长高能量光子激光，其作用到物质上是直接破坏材料原子组分的化学键，而不产生热量，所以一般都把紫外激光加工称作“冷”加工。

目前，紫外激光器非常适合于科研、工业、OEM系统集成开发。科研方面，紫外激光器可以用于原子/分析光谱、化学动力学等方面的研究。工业方面，基于紫外激光器生产的磁盘的数据存储盘空间比蓝光激光器高出20倍。

固体激光器的脉宽通常随着泵浦功率、调Q频率、腔长的改变而发生变化。对于没有进行MOPA的固体激光器，如果让出光的脉宽保持不变，通常可以将所有激光器的参数都记录下来，通过控制泵浦功率，出光频率来使得激光的脉宽是一致的，但是通常这种情况需要向最差的情况看齐，即是以泵浦功率最高，出光频率最高的时候的脉宽为基准，当出光频率下降的时候，需要降低泵浦光的功率，这样在低重频低泵浦功率下激光脉宽和高重频高泵浦功率下的脉宽近似一致。但是这样做最大的问题就是在低重频下的泵浦功率较低，出光能量较低，这样变的没有意义。

发明内容

针对上述现有技术中存在的技术问题，本发明的目的是提供一种固定脉宽腔内倍频紫外激光器以及操作方法。

为实现本发明的目的，本发明提供了一种固定脉宽腔内倍频紫外激光器，包括第一双波长反射镜A1、第二双波长反射镜A2以及平凸透镜B、声光Q开关C、第一激光腔镜D、激光晶体E、第二激光腔镜F、激光反射镜H、二倍频晶体N、三倍频晶体M，

所述第一双波长反射镜A1放置在电动平移台H上，通过改变所述第一双波长反射镜A1的位置，改变激光器的腔长。

相应地，还包括一种固定脉宽腔内倍频紫外激光器操作方法，所述激光器包括第一双波长反射镜A1、第二双波长反射镜A2以及平凸透镜B、声光Q开关C、第一激光腔镜D、激光晶体E、第二激光腔镜F、激光反射镜H、二倍频晶体N、三倍频晶体M，

所述第一双波长反射镜A1放置在电动平移台H上，通过改变所述第一双波长反射镜A1的位置，改变激光器的腔长。

与现有技术相比，本发明的有益效果为，提供了一款脉宽恒定的端面泵浦紫外激光器，所谓的脉宽恒定是在一定的使用范围内，即在一定的频率范围内能够保证脉宽的不变性，同时无论是在低重频下和高重频下都能够使用最高的泵浦功率，这样无论是在低重频还是高重频都能够实现最高的能量输出。

附图说明

图1所示为本申请的结构示意图；