[发明专利]一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法

权利要求书

1.一种碳化硅衬底倒角用砂轮，包括基体和磨料层，其特征在于：所述砂轮用于2英寸和4英寸的碳化硅衬底倒角加工，所述磨料层由以下重量份的原料组成：磨料20-30份，金属结合剂56-95份，添加剂1-7份；所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物；所述添加剂的粒径≤100μm；

所述金属结合剂由以下重量份数的原料组成：铜粉30-50份，锡粉25-40份，铝粉1-5份；

所述磨料为金刚石，金刚石目数是500-1500目；

所述基体的制备材料为铝合金；

所述碳化硅衬底倒角用砂轮的制备方法，包括如下步骤：

1) 按比例取磨料层各原料，加入到充满保护性气氛的混料罐内并密封，混料均匀；

2) 将步骤1) 所得的混合料加入到模具中，进行压制，压制压力为1000kg/cm²或2000kg/cm²或2500kg/cm²，得到坯料；

3) 将步骤2) 坯料烧结，充入氢气作为保护气，以100℃/h的速率升温至400-500℃并保温1-2h，保温结束后即得砂轮磨料层；

4) 将步骤3) 所得的砂轮磨料层粘接在砂轮基体上，即得砂轮毛坯；

5) 将步骤4) 所得的砂轮毛坯按照要求加工到需要的尺寸精度，制备砂轮半成品；

6) 将步骤5) 加工合格的砂轮半成品进行检验并做动平衡，达到精度要求后即为碳化硅衬底倒角用砂轮；

步骤1) 中所述保护性气氛为氮气。

2.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：铜50份，锡28份，铝1份，氯化钾1份，金刚石20份，所述金刚石目数为500；

步骤1) 磨料层混料时间为5h，步骤2) 压制压力为1000kg/cm²；步骤3) 坯料升温至400℃并保温1h。

3.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：铜33份，锡25份，铝5份，氯化钾2份，碳酸钾5份，金刚石30份，所述金刚石目数为1500；

步骤1) 磨料层混料时间为20h，步骤2) 压制压力为2500kg/cm²；步骤3) 坯料升温至500℃并保温2h。

4.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：铜40份，锡28份，铝3份，氯化钠2份或碳酸钾2份或氯化钠、碳酸钾各1份，碳酸钠2份，金刚石25份，所述金刚石目数为1000；

步骤1) 磨料层混料时间为10h，步骤2) 压制压力为2000kg/cm²；步骤3) 坯料升温至450℃并保温1.5h。

5.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：铜36份，锡40份，铝3份，碳酸钠1份，金刚石20份，所述金刚石目数为500；

步骤1) 磨料层混料时间为5h，步骤2) 压制压力为1000kg/cm²；步骤3) 坯料升温至500℃并保温1h。

6.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：磨料层由以下重量份的原料制成：铜40份，锡28份，铝5份，氯化钾2份，碳酸钾5份，金刚石20份，所述金刚石目数为500；

步骤1) 磨料层混料时间为5h，步骤2) 压制压力为1000kg/cm²；步骤3) 坯料升温至480℃并保温1h。

7.根据权利要求1所述的碳化硅衬底倒角用砂轮，其特征在于，磨料层由以下重量份的原料制成：磨料层由以下重量份的原料制成：铜30份，锡30份，铝3份，氯化钠3份，碳酸钠4份，金刚石30份，所述金刚石目数为500；

步骤1) 磨料层混料时间为10h，步骤2) 压制压力为1000kg/cm²；步骤3) 坯料升温至500℃并保温1h。