[发明专利]一种凹坑检查方法

权利要求书

1.一种凹坑检查方法，其特征在于：凹坑检查系统包括机架(1)、CCD 1(2)、激光器阵列(3)、CCD 2(4)、线路板和计算机；激光器阵列(3)安装在机架(1)下面的中央，两侧分别安装CCD 1(2)和CCD 2(4)；激光器阵列(3)由n×n个排成阵列的激光器组成，CCD 1(2)和CCD 2(4)的像平面位于同一平面内，且对应的水平像素线在同一直线上；凹坑检查系统放在待检体(5)上，开启激光器阵列(3)的所有激光器，CCD 1(2)和CCD 2(4)同时拍摄待检体(5)上光斑阵列的图像，并送计算机处理，处理过程分如下步骤：

1)建立坐标系并确定光斑在三维测量坐标系中的位置

以o₁和o₂分别表示CCD 1(2)和CCD 2(4)像面中点，2d表示o₁，o₂之间的距离，以o₁，o₂的连线作为x轴，o₁，o₂连线的中点作为坐标原点o，建立三维测量坐标系o-xyz，在两个像面内分别建立像平面坐标系o₁-x₁y₁以及o₂-x₂y₂，x₁和x₂轴与测量坐标系的x轴重合且方向相同；以f，l分别表示两个CCD的焦距和像素长度，对i,j＝1,2,…,n分别以p_ij(m_ij,n_ij)和p_ij'(m_ij',n_ij')表示阵列光斑的中心在两个像平面坐标系中的像素位置，则在三维测量坐标系中的坐标为

2)确定凹坑中的光斑及凹坑最大深度Y

取一个很小的正数δ作为判别阈值，令

当M-m＞δ令Y＝M-m，否则Y＝0；而对于i,j＝1,2,…,n，当z_ij＞m+δ时判定点(x_ij,y_ij,z_ij)位于凹坑之内，以N表示位于凹坑内点的个数，则所有凹坑之内点的前两个坐标可表示为S＝{(X_i,Y_i)|i＝1,2,…,N}；

3)确定凹坑中光斑的边界

当N＞2时，在S中取使则是边界上的第一个点，以L表示依次选入的边界上点的集合，则此时在中取使

其中“·”表示向量内积运算；令这里为赋值号；继续执行如下步骤：

i)k＝2；

ii)在S中取使

若转iii)；否则令

转ii)；

iii)停止；

此时光斑的边界由L中的k个点确定；

4)确定凹坑最小宽度以及波浪度

当N≤2时，令A＝x₁₁-x₁₂；当N＞2时，以l_j表示中的点到直线之间的距离的最大值，j＝1,2,…,k-1，l_k表示中的点到直线之间的距离的最大值，令

由此可以得到凹坑探测结果：当Y＝0时无凹坑；当Y≠0时有凹坑，其波浪度为λ＝A/Y。