[发明专利]一种陶瓷基材用低磨损PVD涂层体系及其制备的制品有效
申请号: | 201810390936.8 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN108484226B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 廖生;杜旭颖;华秀菊;黄李平;王大洪;阮炯城;崔清 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C04B41/89 |
代理公司: | 44486 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 崔艳峥 |
地址: | 518100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷基材 低磨损 制备 涂层体系 弹性模量 物理气相沉积 表面粗糙度 高弹性模量 高温稳定性 摩擦性能 使用寿命 维氏硬度 最大磨损 高耐磨 耐磨损 基材 涂覆 | ||
1.一种低磨损PVD涂层体系在陶瓷基材中的应用,其特征在于,所述涂层体系为:
一个涂层A:TiaX(1-a)CrNsOt;
其中X为Si或Al,0.8≤a<1,r+s+t=1,并且涂层的厚度为0.5μm-2μm;
和至少一个涂层B:MoN,并且涂层的厚度为0.1μm-0.2μm;
采用物理气相沉积(PVD)工艺将上述涂层A和涂层B先后涂覆于基材上。
2.根据权利要求1所述的PVD涂层体系在陶瓷基材中的应用,其特征在于,所述涂层A为TiAlN或TiSiN的涂层。
3.根据权利要求1所述的PVD涂层体系在陶瓷基材中的应用,其特征在于,所述涂层A的厚度为1.0-2.0μm。
4.一种陶瓷制品,包含陶瓷基体和涂覆于基体上的涂层,其特征在于:所述涂层体系为:
一个涂层A:TiaX(1-a)CrNsOt;
其中X为Si或Al,0.8≤a<1,r+s+t=1,并且涂层的厚度为0.5μm-2μm;
和至少一个涂层B:MoN,并且涂层的厚度为0.1μm-0.2μm;
采用物理气相沉积(PVD)工艺将上述涂层A和涂层B先后涂覆于基材上。
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