[发明专利]具有光滑反射壁的龙虾眼型成像元件及其制备方法

权利要求书

1.一种具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，将坯板进行清洁处理，酸蚀通孔，内表面清洁，化学抛光，脱水处理，热处理，得到具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件。

2.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的清洁处理包括：将坯板置于有机溶剂中30-50KHz超声处理5-10min。

3.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的酸蚀通孔包括：将清洁处理后的坯板置于0.5-1.0mol/L的硝酸溶液中，在50-60℃磁力搅拌，清洗。

4.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的内表面清洁包括：将酸蚀通孔后的坯板进行酸处理-碱处理过程，重复3-6次，清洗。

5.根据权利要求4所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的酸处理-碱处理过程包括：

将酸蚀通孔后的坯板置于0.5-1.0mol/L的硝酸溶液中，50-60℃双频率超声交替振荡5-10min，清洗；置于0.2-0.5mol/L的NaOH溶液中，30-40℃双频率超声交替振荡10-15min，清洗；

其中，所述的双频率超声包括高频超声和低频超声；所述的高频超声的频率为70-100KHz，所述的低频超声的频率为30-50KHz。

6.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的化学抛光包括：将内表面清洁后的坯板置于0.005-0.015mol/L的HF溶液中处理1-3min，清洗。

7.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的脱水处理包括：将化学抛光后的坯板置于异丙醇溶液中，50-100KHz超声处理5-10min，在80-120℃干燥20-30min。

8.根据权利要求1所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，所述的热处理包括：将脱水处理后的坯板在真空或气氛保护条件下加热；其中所述的的真空度小于1×10^-4Pa，气氛为氮气或氩气；所述的加热的升温速率和降温速率小于等于2℃/min，加热时间为120-180min。

9.一种具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件，其特征在于，由权利要求1-8任一项所述的方法制备而得；所述的具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的均方根粗糙度小于1.0nm。