[发明专利]一种层压装置及其使用方法在审
申请号: | 201810393541.3 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN110416350A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 兰立广;王进福;姚立强;魏民;陈保存;卢志辉;吴桐;彭志勇 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 抽真空孔 第一层 密封腔 内密封 抽真空 外密封 种层 太阳能电池产品 太阳能电池矩阵 太阳能电池 凹槽连通 层压装置 抽真空层 抽真空度 扣合密封 层压腔 上端面 下端面 层压 外周 银浆 连通 制造 保证 | ||
1.一种层压装置,其特征在于,包括基板和设置在所述基板上侧的顶板,所述基板的上端面设有第一层压凹槽,所述基板与所述顶板之间设有位于所述第一层压凹槽的外周的内密封垫和位于所述内密封垫外的外密封垫,所述基板、所述顶板、所述内密封垫与所述外密封垫构成密封腔,所述基板下端面设有与所述第一层压凹槽连通的第一抽真空孔以及与所述密封腔连通的第二抽真空孔。
2.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述内密封垫和所述外密封垫均设置在所述基板上;或者,所述内密封垫和所述外密封垫均设置在所述顶板上。
3.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述内密封垫设置在所述基板上,所述外密封垫设置在所述顶板上;或者,所述外密封垫设置在所述基板上,所述内密封垫设置在所述顶板上。
4.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述内密封垫包括基板内密封垫和顶板内密封垫,所述外密封垫包括基板外密封垫和顶板外密封垫,所述基板内密封垫和所述基板外密封垫均设置在所述基板上,所述顶板内密封垫和所述顶板外密封垫均设置在所述顶板上;所述基板内密封垫与所述顶板内密封垫密封对接,所述基板外密封垫与所述顶板外密封垫密封对接。
5.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述顶板的下端面设有第二层压凹槽,所述顶板的上端面设有加热板。
6.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述第一层压凹槽内设有阵列排布的多个层压腔真空孔,多个所述层压腔真空孔与所述第一抽真空孔连通。
7.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,位于所述内密封垫和所述外密封垫之间的所述基板设有多个密封腔真空孔,多个所述密封腔真空孔与所述第二抽真空孔连通。
8.如权利要求1所述的层压装置,其特征在于,所述第一层压凹槽内设有第一多孔缓冲层,所述第一多孔缓冲层的上端设有第一多孔阻隔层。
9.如权利要求8所述的层压装置,其特征在于,所述的第一多孔阻隔层为多孔纤维布或阵列多孔板或孔径为0.5~500微米的微孔结构板或吸气孔柔性板或刚性板。
10.如权利要求5所述的层压装置,其特征在于,所述第二层压凹槽内设有第二多孔缓冲层,所述第二多孔缓冲层的下端设有第二多孔阻隔层。
11.如权利要求10所述的层压装置,其特征在于,所述第二多孔阻隔层为多孔纤维布或阵列多孔板或孔径为0.5~500微米的微孔结构板或吸气孔柔性板或刚性板。
12.如权利要求5所述的层压装置,其特征在于,所述加热板为柔性板,包括加热丝,所述加热丝的上下两侧均设有纤维层,所述加热丝与所述纤维层均设在加热板体内。
13.如权利要求5所述的层压装置,其特征在于,所述加热板的上端面设有隔热层。
14.如权利要求5所述的层压装置,其特征在于,所述顶板的上侧设有用于安装所述加热板的安装槽。
15.一种如权利要求1-14任一项所述的层压装置的使用方法,其特征在于,包括如下步骤:
将太阳能电池矩阵放置在第一层压凹槽内,将顶板与基板扣合,内密封垫、外密封垫、基板与顶板接合密封形成密封腔,第一层压凹槽与顶板形成层压腔;
通过第二抽真空孔对密封腔抽真空,通过第一抽真空孔对层压腔抽真空,实现对太阳能电池矩阵的层压;
释放层压腔内的真空,释放密封腔内的真空,移动顶板,取出层压后的太阳能电池矩阵。
16.如权利要求15所述的层压装置的使用方法,其特征在于,还包括在顶板上设置加热板,用以加热层压腔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的