[发明专利]真空镀膜生产线

权利要求书

1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括PVD滚镀装置、室外机器人和货架区，所述室外机器人包括机器人本体、轮组、导航组件和仿生手臂组件，所述机器人本体呈箱体结构，所述仿生手臂组件包括第一仿生手臂和第二仿生手臂，所述第一仿生手臂和所述第二仿生手臂设置在所述机器人本体的顶部，所述第一仿生手臂的前端配置有第一机械手，所述第二仿生手臂的前端配置有第二机械手；

所述PVD滚镀装置包括镀膜室，所述镀膜室内设置有磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂、主轴和多个下升降支撑柱，所述第一托盘和所述第二托盘被配置为能相互扣合并锁紧，所述第一托盘与所述主轴可拆卸连接并能随所述主轴转动，所述机械臂的尾端固定于所述镀膜室的侧壁，所述机械臂的首端被配置为能够抓起并移动所述第一托盘和所述第二托盘；

所述机器人本体的顶部被配置能够放置所述第一托盘。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述导航组件包括多个分布在所述机器人本体四周的壁障雷达。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述第一仿生手臂和所述第二仿生手臂分别包括顺次铰接的多个手臂单体，相邻的所述手臂单体之间设置有用于使相邻的所述手臂单体之间能够相对转动的伺服电机，当伺服电机启动时，其转子带动相邻的所述手臂单体中的一个相对于另一个转动，伺服电机的输出轴上设置有自锁机构，使得伺服电机停止工作时，相邻的所述手臂单体之间保持固定。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述PVD滚镀装置还包括设备室，所述镀膜室和所述设备室之间由隔板隔离，所述隔板上穿设有从所述设备室延伸到所述镀膜室的主轴，所述设备室内设置有转动驱动装置，所述主轴被配置为能在所述转动驱动装置的驱动下转动；

所述镀膜室内还具有上平移平台、上升降支撑柱、所述下升降支撑柱设置在所述镀膜室的底部并被配置为能竖直伸缩，所述磁控靶组件包括靶材箱和由所述靶材箱的底面伸出的多个靶材，所述靶材箱的顶部固定于所述上升降支撑柱，所述上升降支撑柱固定于所述上平移平台，所述上平移平台固定于所述镀膜室的顶部。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述设备室设置有L型支撑架，所述L型支撑架包括水平段和竖直段，所述水平段固定于所述隔板，所述主轴可转动地穿设在所述竖直段上。

6.根据权利要求4或5所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述主轴在位于所述设备室内的一端具有配重环。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述配重环同轴固定在所述主轴上，所述配重环的外周面设置有若干个标定片，所述竖直段上固定有用于光电传感器，所述光电传感器与所述标定片配合以检测所述主轴的转动角度。

8.根据权利要求4或5所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述机械臂包括多个顺次铰接的转动关节，相邻的所述转动关节之间的结合部设置有用于使相邻的所述转动关节能够相对转动的伺服电机；

位于尾端的所述转动关节与所述镀膜室的侧壁之间也设置有伺服电机，使位于尾端的所述转动关节能够相对于所述镀膜室转动。

9.根据权利要求4或5所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述第一托盘具有锁槽，所述锁槽包括连为一体的直槽段和沟槽段，所述主轴的端部外周面对称地设置有锁柱，所述锁柱从所述直槽段进入所述沟槽段时所述第一托盘与所述主轴可拆卸地连接在一起。

10.根据权利要求4或5所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述第一托盘的正面为凸起面，所述第二托盘的正面为凹陷面，所述第一托盘和所述第二托盘扣合在一起时，所述凸起面和所述凹陷面在外边缘处相互抵接；

所述第一托盘和所述第二托盘之间设置有快速锁紧装置。