[发明专利]一种无需表面涂层的石英坩埚的制备方法

权利要求书

1.一种无需表面涂层的石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)准备表面被复合有机薄膜包裹的金属模具：

在有机薄膜的一面涂上常温稳定的第一粘结剂层，将有机薄膜通过第一粘结剂层黏附到金属模具的表面，后在有机薄膜的另一面涂上常温稳定的第二粘结剂层，将由需与坩埚复合的物质组成的需复合层通过第二粘结剂层黏附到有机薄膜的表面，所述第一粘结剂层和第二粘结剂层各自独立的选自聚烯烃塑料胶、聚丙烯酸树脂、聚氯乙烯树脂中的一种，所述有机薄膜为聚丙烯薄膜或聚乙烯薄膜；

2)固化：将粘度为10～15Pa·s的石英料浆注入到步骤1)准备好的金属模具中，将金属模具置于90～100℃的环境下固化，固化过程中，第一粘结剂层和第二粘结剂层逐渐失效，固化结束后脱模，得到表面带有需复合层的生坯；

3)养护：将步骤2)所得的表面带有需复合层的生坯置于90～110℃的环境下进行养护24～48h，以排净坯体中的水分；

4)烧制：将步骤3)所得的产品置于1160～1170℃的环境下烧制12～18小时，即得无需表面涂层的石英坩埚。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述需与坩埚复合的物质为石英颗粒或氮化硅颗粒。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述需与坩埚复合的物质的颗粒大小为0.05～50μm。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述第一粘结剂层和第二粘结剂层的厚度在0.2mm以内，所述有机薄膜的厚度在0.5mm以内，所述需复合层的厚度在50～500μm。