[发明专利]一种耗尽型行波硅基马赫增德尔电光调制器

权利要求书

1.一种耗尽型行波硅基马赫增德尔电光调制器，其特征在于，包括行波电极、波导结构、第一耦合器和第二耦合器；

所述行波电极包括第一地线，在所述第一地线的一侧沿着第一方向依次设置的第一信号线和第二地线，以及在所述第一地线的另一侧沿着第二方向依次设置的第二信号线和第三地线；

所述波导结构为连接第一耦合器输出端和第二耦合器输入端并且在行波电极的各地线和信号线的各个间隙中穿过的波导结构。

2.根据权利要1所述的电光调制器，所述波导结构包括设置在所述第一地线和所述第一信号线之间的第一调制区波导、设置在所述第一信号线和所述第二地线之间的第二调制区波导、设置在所述第一地线和所述第二信号线之间的第三调制区波导、设置在所述第二信号线和所述第三地线之间的第四调制区波导；

所述波导结构还包括第一连接波导和第二连接波导，所述第一连接波导连通所述第一耦合器的第一输出端、所述第一调制区波导、所述第二调制区波导和所述第二耦合器的第一输入端，使得由所述第一输出端输出的第一分光经过所述第一调制区波导和所述第二调制区波导后从所述第一输入端输入所述第二耦合器；

所述第二连接波导连通所述第一耦合器的第二输出端、所述第三调制区波导、所述第四调制区波导和所述第二耦合器的第二输入端，使得由所述第二输出端输出的第二分光经过所述第三调制区波导和所述第四调制区波导后从所述第二输入端输入所述第二耦合器；

其中，所述第一方向和所述第二方向相反。

3.根据权利要2所述的电光调制器，其特征在于，所述第一连接波导连通所述第一耦合器的第一输出端、所述第一调制区波导、所述第二调制区波导和所述第二耦合器的第一输入端，包括：

所述第一输出端连接所述第一调制区波导的第一端，所述第一调制区波导的第二端连接所述第二调制区波导的第二端，所述第二调制区波导的第一端连接所述第一输入端；

其中，所述第一调制区波导的第一端和所述第二调制区波导的第一端均靠近所述第一输出端；所述第一调制区波导的第二端和所述第二调制区波导的第二端均靠近所述第一输入端。

4.根据权利要3所述的电光调制器，其特征在于，所述第二调制区波导的第一端连接所述第一输入端，包括：

所述第二调制区波导的第一端由从所述第二地线中远离所述第一地线的一侧绕过所述第二地线的第一连接波导连接至所述第一输入端。

5.根据权利要2所述的电光调制器，其特征在于，所述第二连接波导连通所述第一耦合器的第二输出端、所述第三调制区波导、所述第四调制区波导和所述第二耦合器的第二输入端，包括：

所述第二输出端连接所述第三调制区波导的第一端，所述第三调制区波导的第二端连接所述第四调制区波导的第二端，所述第四调制区波导的第一端连接所述第二输入端；

其中，所述第三调制区波导的第一端和所述第四调制区波导的第一端均靠近所述第二输出端；所述第三调制区波导的第二端和所述第四调制区波导的第二端均靠近所述第二输入端。

6.根据权利要5所述的电光调制器，其特征在于，所述第四调制区波导的第一端连接所述第二输入端，包括：

所述第四调制区波导的第一端由从所述第三地线中远离所述第一地线的一侧绕过所述第三地线的第二连接波导连接至所述第二输入端。

7.根据权利要2所述的电光调制器，其特征在于，包括：

输入到所述第一耦合器的输入光经所述第一耦合器分为第一分光和第二分光；

所述第一分光经所述第一调制区波导和所述第二调制区波导调制后，从所述第一输入端输入所述第二耦合器，所述第二分光经所述第三调制区波导和所述第四调制区波导调制后，从所述第二输入端输入所述第二耦合器；

所述第二耦合器将由第一输入端和第二输入端输入的两束光合并为输出光输出。

8.根据权利要求2所述的电光调制器，其特征在于，所述第一调制区波导、所述第二调制区波导、所述第三调制区波导和所述第四调制区波导均为脊形波导。