[发明专利]一种用于电镀金刚石线锯设备上的伺服排线装置

说明书

本发明公开了一种用于电镀金刚石线锯设备上的伺服排线装置，该装置包括传动电机、减速机、联轴器、电机支架、双轴承轴承座、压板、滚珠丝杠、丝杠螺母、间隔板、螺母座、单轴承轴承座、底板、直线滑轨、滑块、垂直吊杆、导轮小轴、导线轮、导线轮安装板、垂直立杆、立轴；伺服电机通过减速机变速后达到所需要的转速及扭矩，再经过联轴器与滚珠丝杠连接，滚珠丝杠上的螺母与螺母座连接，螺母座经过间隔板与滑块连接，当伺服电机转动后带动滚珠丝杠旋转运动，丝杠螺母座带动导线模块并沿着直线滑轨前后滑动。本发明能够实现收线排线间距均匀，不出现绞线、压线、断线，避免二次复绕影响金刚石线锯的品质。

技术领域

本发明涉及电镀设备领域，尤其涉及一种电镀金刚石线锯设备上的伺服排线装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大，对硅片的切割要求也越来越精密，对金刚石线锯的用量也越来越大。金刚石线锯在生产时收线与排线是不可分割的工序，如果排线不好就会出现绞线、压线、断线现象。目前比较传统的排线方式是利用光杆排线器来完成，但是其缺点是排线不均匀，无法设定需要的排线间距，容易出现绞线、压线情况，需要再次复绕。

发明内容

针对上述技术中存在的弊端，本发明提供一种高精密的伺服排线装置，能够避免绞线、压线、断线情况，不再需要进行二次复绕。

为实现上述目的，本发明提供的一种用于电镀金刚石线锯设备上的伺服排线装置，包括伺服电机1、导线模块2、减速机3、电机支架4、联轴器5、双轴承轴承座6、压板7、滚珠丝杠8、丝杠螺母9、间隔板10、螺母座11、单轴承轴承座12、底板13、直线滑轨14、滑块15；所述导线模块2包括垂直吊杆20、导轮小轴21、导线轮22、导线轮安装板23、垂直立杆24和垂直立轴25；

所述伺服电机1安装在电机支架4上，与所述减速机3连接，所述减速机3与联轴器5和滚珠丝杠8连接，所述滚珠丝杠8上的丝杠螺母9与螺母座11连接，螺母座11经过间隔板10与滑块15连接，所述底板13上安装双轴承轴承座6、电机支架4、直线滑轨14并配有滑块15，所述导线模块2安装在螺母座上；

当所述伺服电机1转动，并通过减速机3变速后达到所需要的转速及扭矩，带动滚珠丝杠8旋转运动，螺母座11及导线模块2沿着直线滑轨前后滑动。

所述伺服电机1为变频电机、步进电机或伺服电机中的任何一种。

所述减速机3为蜗轮蜗杆减速机、行星齿轮减速机或平行轴齿轮减速机中的任何一种。

相较于现有技术情况，本发明提供的电镀金刚石线锯设备上的排线装置，排线通过伺服电机来完成，由此该装置具有占地面积小、通用性高、排线精密、安装方向不受限制等特点；同时，伺服排线是通过精密的滚珠丝杠来实现，同时带动导线模块通过直线滑块的移动来实现精密排线；该结构的改进不仅不需要进行二次复绕，避免二次复绕影响到线锯的品质，而且能避免出现绞线、压线、断线等现象。

附图说明

图1为本发明的分解示意图。

图2为本发明组装后的结构图。

1、传动电机；2、导线模块；3、减速机；4、电机支架；5、联轴器；6、双轴承轴承座；7、压板；8、滚珠丝杠；9、丝杠螺母；10、间隔板；11、螺母座；12、单轴承轴承座；13、底板；14、直线滑轨；15、滑块；20、垂直吊板；21、导轮小轴；22、导线轮；23、导线轮安装板；24、垂直立杆；25、垂直立轴。

具体实施方式

为了清楚的表述本发明，下面结合附图对本发明作进一步描述。