[发明专利]一种柔性显示器件及其制作方法有效
申请号: | 201810409491.3 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN108400261B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 张帅;左岳平;刘利宾 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 显示 器件 及其 制作方法 | ||
本发明公开一种柔性显示器件及其制作方法,涉及显示技术领域,为解决现有的制作显示器件的切割方法无法在保证器件质量的同时,实现超窄边框的产品设计。所述柔性显示器件的制作方法包括:在载板上制作多个柔性显示器件,并采用刻蚀工艺去除位于相邻所述柔性显示器件之间的切割区域的膜层,暴露出位于所述切割区域的载板;采用激光剥离技术将所述多个柔性显示器件从所述载板上剥离,形成多个相互独立的柔性显示器件。本发明提供的柔性显示器件的制作方法用于制作柔性显示器件。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示器件及其制作方法。
背景技术
目前,为了提高显示装置的生产效率、降低生产成本,显示装置无论是薄膜晶体管液晶显示装置(英文:Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,简称:TFT-LCD),或者有机电致发光二极管显示装置(英文:Organic Light Emitting Diode,简称:OLED)等,均是在母板上进行整体工艺制作后再切割分离,进一步完成后段模组工艺。
以制作包括柔性衬底的柔性显示基板为例,首先在载板上形成柔性衬底,然后在柔性衬底上以高利用率的排布方式同时制作多个显示器件,形成柔性显示基板母板,然后采用激光剥离技术将柔性衬底与载板分离,在柔性衬底背向显示器件的表面贴附底膜,最后采用激光切割技术在柔性显示基板母板中相邻两个显示器件之间的可切割区域内进行切割分离,以形成多个独立的柔性显示基板。但是,由于激光切割的温度较高,为了避免高温对显示器件造成影响,一般会在各显示器件的外围预留一段距离作为切割边缘,但这种预留切割边缘的方式不利于超窄边框的产品设计,因此现有的制作显示器件的切割方法无法在保证器件质量的同时,实现超窄边框的产品设计。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性显示器件及其制作方法,用于解决现有的制作显示器件的切割方法无法在保证器件质量的同时,实现超窄边框的产品设计。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
本发明的第一方面提供一种柔性显示器件的制作方法,包括:
在载板上制作多个柔性显示器件,并采用刻蚀工艺去除位于相邻所述柔性显示器件之间的切割区域的膜层,暴露出位于所述切割区域的载板;
采用激光剥离技术将所述多个柔性显示器件从所述载板上剥离,形成多个相互独立的柔性显示器件。
进一步地,所述在载板上制作多个柔性显示器件,并采用刻蚀工艺去除位于相邻所述柔性显示器件之间的切割区域的膜层,暴露出位于所述切割区域的载板的步骤具体包括:
在所述载板上依次形成柔性衬底和多个膜层,所述多个膜层中的至少一个膜层和所述柔性衬底覆盖所述切割区域,在形成覆盖所述切割区域的膜层后,采用刻蚀工艺将位于所述切割区域的膜层去除,并最终将位于所述切割区域的柔性衬底去除,暴露出位于所述切割区域的载板。
进一步地,所述柔性显示器件包括弯折区域;所述在载板上制作多个柔性显示器件,并采用刻蚀工艺去除位于相邻所述柔性显示器件之间的切割区域的膜层,暴露出位于所述切割区域的载板的步骤具体包括:
在所述载板上依次形成柔性衬底和多个膜层,所述多个膜层中的至少一个膜层和所述柔性衬底覆盖所述切割区域和所述弯折区域,在形成覆盖所述切割区域和所述弯折区域的膜层后,采用刻蚀工艺同时将位于所述切割区域的膜层和位于所述弯折区域的膜层去除,并最终将位于所述切割区域的柔性衬底去除,暴露出位于所述切割区域的载板。
进一步地,所述在所述载板上依次形成柔性衬底和多个膜层,所述多个膜层中的至少一个膜层和所述柔性衬底覆盖所述切割区域和所述弯折区域,在形成覆盖所述切割区域和所述弯折区域的膜层后,采用刻蚀工艺同时将位于所述切割区域的膜层和位于所述弯折区域的膜层去除,并最终将位于所述切割区域的柔性衬底去除,暴露出位于所述切割区域的载板的步骤具体包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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