[发明专利]一种激光雕刻装置及方法

权利要求书

1.一种激光雕刻装置，其特征在于，包括，

激光器和扩束镜组，所述扩束镜组改变所述激光器发出的激光光束的发散角；

功率调整器，所述功率调整器接收经过所述扩束镜组后的激光光束，调节激光光束的功率并反馈到扩束镜组，所述扩束镜组根据反馈数据重新调节激光光束的发散角；

聚焦镜组，所述聚焦镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并对激光光束进行聚焦。

检测装置，所述检测装置检测所述聚焦镜组与待加工件之间的距离；

调节装置，所述调节装置对所述聚焦镜组的位置进行调节；

所述激光器、扩束镜组、功率调整器与聚焦镜组依次排列连接。

2.如权利要求1所述的激光雕刻装置，其特征在于，所述功率调整器与聚焦镜组之间设有振镜组，所述振镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并改变激光光束的方向，所述聚焦镜组接收经过振镜组后的激光光束，所述调节装置对所述聚焦镜组和/或振镜组的位置进行调节。

3.如权利要求2所述的激光雕刻装置，其特征在于，所述激光器发出的激光光束与所述功率调整器发出的激光光束的方向平行于X轴，所述振镜组发出的激光光束与所述聚焦镜组发出的激光光束的方向平行于Z轴且与待加工件的加工表面垂直。

4.如权利要求1所述的激光雕刻装置，其特征在于，经过所述扩束镜组后的激光光束的发散角度不小于未进入所述扩束镜组的激光光束的发散角度，经过所述扩束镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述扩束镜组的激光光束的直径。

5.如权利要求1所述的激光雕刻装置，其特征在于，经过所述聚焦镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述聚焦镜组的激光光束的直径。

6.如权利要求2所述的激光雕刻装置，其特征在于，所述检测装置检测聚焦镜组与所述待加工件之间的距离并反馈到所述调节装置，所述调节装置驱动所述振镜组和聚焦镜组进行X、Y或Z方向的移动。

7.如权利要求1所述的激光雕刻装置，其特征在于，所述待加工件位于所述经过聚焦镜组后的激光光束的非焦点处。

8.一种激光雕刻方法，其特征在于，包括以下步骤，

S1：调节激光的光斑直径及发散角度；

S2：设定激光功率，并过滤多余的激光能量；

S3：对激光光束进行聚焦；

S4：调整激光与被加工件之间的距离；

S5：在被加工件的指定位置进行激光雕刻。

9.如权利要求8所述的激光雕刻方法，其特征在于，所述步骤S2与S3之间还包括偏转激光方向的步骤。

10.如权利要求8或9所述的激光雕刻方法，其特征在于，在执行步骤S4之前，所述激光光束的方向与待加工件的加工表面垂直。