[发明专利]一种预制棒轴向超薄层外包工艺

权利要求书

1.一种预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，包括如下步骤：

A、在芯棒表面外包沉积加工出包层松散体，在外包沉积加工过程中，芯棒的牵引速度大于200mm/h，并且用于外包沉积的喷灯采用十二层喷灯，从里到外的气体构成依次为：

层一，气体为燃烧气体H₂和原料气体SiCl₄的混合气体，其中H₂的流量为7.5～8.5L/min,原料气体的流量为56～80L/min；

层二：气体为燃烧气体H₂，流量为5～6L/min；

层三：气体为隔离气体Ar，流量为2.5～4L/min；

层四：气体为助燃气体O₂，流量为39～41L/min；

层五：气体为隔离气体Ar，流量为4～6L/min；

层六：气体为燃烧气体H₂，流量为40～60L/min；

层七：气体为隔离气体Ar，流量为5～6L/min；

层八：气体为助燃气体O₂，流量为65～75L/min；

层九：气体为隔离气体Ar，流量为6～7L/min；

层十：气体为燃烧气体H₂，流量为85～108L/min；

层十一：气体为隔离气体Ar，流量为7～8L/min；

层十二：气体为助燃气体O₂，流量为90～105L/min；

B、将包层松散体烧结形成包层玻璃体，烧结温度控制在1450～1650℃，烧结速度控制在1.5～3mm/min。

2.根据权利要求1所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述喷灯气体构成从里到外的依次为：

层一，H₂的流量为8L/min，原料气体的流量为70L/min；

层二：H₂的流量为5.5L/min；

层三：Ar的流量为3L/min；

层四：O₂的流量为40L/min；

层五：Ar的流量为5L/min；

层六：H₂的流量为50L/min；

层七：Ar的流量为5L/min；

层八：O₂的流量为70L/min；

层九：Ar的流量为7L/min；

层十：H₂的流量为95L/min；

层十一：Ar的流量为7.5L/min；

层十二：O₂的流量为95L/min。

3.根据权利要求1所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述的步骤B中烧结温度控制在1600～1650℃，烧结速度控制在2～3mm/min。

4.根据权利要求1所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述的步骤B中烧结过程中芯棒的旋转速度为4～6r/min。

5.根据权利要求1所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述的步骤B中在将包层松散体烧结时通入Cl₂对包层松散体进行脱水。

6.根据权利要求5所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述的Cl₂的流量300～800L/min。

7.根据权利要求5所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述的步骤B中在通入Cl₂对包层松散体进行脱水的同时还通入有He。

8.根据权利要求7所述的预制棒轴向超薄层外包工艺，其特征在于，所述He的流量为20～40L/min。

9.一种光纤，其特征在于，包含采用权利要求1至8任一项所述预制棒轴向超薄层外包工艺制成的包层。