[发明专利]一种高效硅片切片装置

权利要求书

1.一种高效硅片切片装置，包括机床（1），其特征在于：所述机床（1）底部的中端固定连接有集尘箱（19），且集尘箱（19）右侧的底部开设有出料口（18），所述机床（1）底部的四周均固定连接有支撑腿（12），且支撑腿（12）的底部固定连接有套筒（14），所述套筒（14）内腔的顶端通过弹簧（17）活动连接有活动杆（16），活动杆（16）的底部活动安装有滚轮（15），且机床（1）顶部的中端固定连接有安装座（11），所述安装座（11）内表面的下端对称设置有收放转轴（3），且收放转轴（3）外表面的前后两面均套接有外套（10），外套（10）的外侧固定连接有限位块（2），所述安装座（11）的内表面且位于收放转轴（3）的内侧对称设置有安装板（5），且安装板（5）的内侧从下到上均通过转子（13）依次活动安装有第一金刚线切片（6）、第二金刚线切片（7）和第三金刚线切片（8），所述安装座（11）左侧的上端开设有出线口（9），且安装座（11）右侧的上端开设有进线口（4），所述安装座（11）左侧的下端固定安装有吸风机（21），且吸风机（21）的出风端通过管道（20）与集尘箱（19）左侧的顶端连通。

2.根据权利要求1所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：其操作方法包括以下步骤：

A、机床（1）冲洗；

B、外套（10）、转子（13）更换；

C、线网准备；

D、零点设置；

E、热机检查；

F、切割开始、线网监控；

G、加工结束。

3.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述机床（1）冲洗包括以下部分：①、滤袋每刀清理；②、浆料嘴每刀清理；③、滤网每刀清理；④、每刀用纯水冲洗切割室，重点清理导轮及线网、切割室正面和侧面。

4.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述外套（10）、转子（13）更换对机床（1）切割质量有严重影响，不及时更换将导致断线等潜在运行风险，因此切割前必须对外套（10）、转子（13）磨损情况进行检查确认，并重点检查出线口（9）、进线口（4）的外套（10）磨损情况，此外针对部分使用转子机床，对转子（13）更换按照上、下颠倒的方式使用二次周期。

5.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述线网准备包括线网走线和线网调整，且线网走线为出刀采用返线切割的工艺，要求将旧线部分从放线轴上反转给收线轴，具体反线量根据切割工艺指导操作；线网调整主要对齐线网去底情况，防止因硅块尺寸不一致导致的中线缝隙不一致导致切割质量影响。

6.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述零点设置为：由于金刚线切割的加工开始位置为-1.0mm，因此硅块零点设置的位置要完全贴合线网进行设置，如零点位置设置过高，将导致切割结束后且不同的情况。

7.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述热机作为机床（1）切割前最后一项工作，要求操作人员认真检查线网情况，将导轮、切割室内异物清理干净，要求打开侧板，低速向前转动线网，观察线网各处是否有异常空槽和跳线情况，并通过线网的平整性进行判断。

8.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述线网监控是对切割过程中的线网进行定时查看，并对异常情况及时进行调整避免出现更大的损失；线网查看从机床（1）观察窗使用手电辅助进行，观察前确定线网正在反向运行，避免切割液影响观察效果以及切割液溅出，且所有线网运行过程中停机，停机前保证线网运行一个循环，即反向运行降速时停机，否则会造成停机线痕和色差片。

9.根据权利要求2所述的一种高效硅片切片装置，其特征在于：所述机床（1）加工结束后机床（1）自动报警，员工需要对硅块是否切透进行判断，切透时线网从进线口（4）到出线口（9）基本成一条直线，没有一次明显出现低凹，同时可与调整对比线网对比，线网与其平行。