[发明专利]通用型准分子激光光束汇聚装置在审

专利信息
申请号: 201810415102.8 申请日: 2018-05-03
公开(公告)号: CN108681085A 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 陈涛;郭佳昌 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 刘萍
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 拉锥 石英玻璃管 准分子激光 光束汇聚 扩束装置 通用型 整形 激光 应用技术领域 分子激光 光学元件 厚度均匀 激光加工 条件允许 玻璃管 出射端 入射端 出射 管壁 管子 石英 匹配 平行 对准 口径 应用
【权利要求书】:

1.通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:包括拉锥石英玻璃管,拉锥石英英玻璃管的入射端和出射端均平行且厚度均匀,拉锥部分管壁厚度也随着管子直径的变化而变化,且内外径之比不变,整个拉锥部分和出射端的内外径之比为5/8-9/10中任意一个值。

2.根据权利要求1所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:入射端的长度在50-100mm,出射端的长度在5-10mm。

3.根据权利要求1所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:出射端口径小于5mm。

4.根据权利要求1所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:包括扩束装置和拉锥石英玻璃管,扩束装置使准分子激光与拉锥石英玻璃管的口径相匹配。

5.根据权利要求4所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:

扩束装置包括第一球面透镜(1)和第二球面透镜(2),第一球面透镜(1)的焦距大于第二球面透镜(2)的焦距,两透镜焦点位于透镜之间且相互重合。

6.根据权利要求4所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:扩束装置使得通过该扩束装置的光束口径符合拉锥石英玻璃管(3)的入射端口径,即小于25mm。

7.根据权利要求1所述的通用型准分子激光光束汇聚装置,其特征在于:所述的拉锥石英玻璃管(3)由一个可调节高度和角度的金属装置压紧固定,高度和角度均由该方向上的两个螺丝来调节,使光束的主轴与拉锥石英玻璃管(3)的主轴相互重合。

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