[发明专利]一种螺旋状超长金属线/带的制备方法

权利要求书

1.一种螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在衬底上旋涂光刻胶；

2)用掩膜板进行曝光显影，在衬底上获得螺旋状的线/带生长模板区域；

3)在经过步骤2)处理后的衬底上蒸镀一层金属薄膜；

4)在真空炉中退火，使金属薄膜结晶，并与衬底键合在一起；

5)反向剥离，除去光刻胶和多余的金属薄膜，在衬底上获得螺旋状的超长线/带；

6)除去衬底，得到螺旋状的超长线/带；

其中，所述线/带的宽度为微米级或纳米级；

所述衬底的材质为LiGaO₂、MgO、ZnO或FeO；

步骤4)中，退火的条件控制为：真空度大于10-4Pa，退火温度200-400℃，退火时间30-240min。

2.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，所述线/带的宽度为300-10000nm。

3.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，所述线/带的材质为Ag、Au、Pt、Cu、Fe、Al或Cr。

4.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，所述衬底的直径为2英寸以上。

5.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，步骤1)中，旋涂的光刻胶的厚度为0.3-20μm。

6.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，步骤3)中，采用电子束蒸发在室温、真空大于10^-3Pa的条件下蒸镀金属薄膜。

7.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜的厚度为300-20000nm，金属薄膜为选自Ag薄膜、Au薄膜、Pt薄膜、Cu薄膜、Fe薄膜、Al薄膜或Cr薄膜。

8.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，步骤6)中，除去衬底的具体操作为：在真空大于10^-4Pa的条件下，将步骤5)处理后的衬底升温至600-900℃，然后以50-100℃/min的速率快速降温至室温，使衬底破碎。

9.根据权利要求1所述的螺旋状超长金属线/带的制备方法，其特征在于，步骤6)中，除去衬底的具体操作为：将步骤5)处理后的衬底放置在耐酸的丝网上，置于弱酸中腐蚀掉衬底。