[发明专利]具有表面涂层的镍钛合金医疗器械及涂层制备方法有效
申请号: | 201810419376.4 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN108690967B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 童丽萍;王怀雨;傅劲裕;朱剑豪;罗哲民 | 申请(专利权)人: | 深圳市中科摩方科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;C23C14/16;C23C14/06;A61C7/20 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 胡辉 |
地址: | 518112 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘李*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 表面 涂层 钛合金 医疗器械 制备 方法 | ||
1.一种制备镍钛合金医疗器械的表面涂层的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
(1)通过加载脉冲式负偏压,进行钛的离子注入,以形成钛过渡层;和
(2)在保持脉冲式负偏压和钛的离子注入的情况下,以0至20sccm梯度增加的流量通入氮气,以形成钛-氮化钛梯度过渡层,并且在所述钛-氮化钛梯度过渡层外形成纯氮化钛层;
在步骤(1)或步骤(2)中,所加载的脉冲式负偏压为-50~-250V;频率为300~2000Hz;占空比为5%~25%。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤(1)之前,所述方法进一步包括步骤(0’):将镍钛合金医疗器械放入真空腔室内,通入惰性气体并且加载脉冲式负偏压,对所述镍钛合金医疗器械进行等离子体表面清洁。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在整个处理过程中,控制所述镍钛合金医疗器械的温度不超过300℃。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在整个处理过程中,控制所述镍钛合金医疗器械的温度不超过250℃。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在步骤(1)或步骤(2)中,所加载的脉冲式负偏压为-100~-200V;频率为400~1500Hz;占空比为10%~20%。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在步骤(1)或步骤(2)中,所加载的脉冲的频率为500~1000Hz。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤(1)和步骤(2)各自持续10~20分钟。
8.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在步骤(0’)之后,关闭所述惰性气体。
9.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在处理过程中,保持通入所述惰性气体,并且在步骤(2)中,通入的氮气的量与所述惰性气体的量的比率最终达到9:1至1:1。
10.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在处理过程中,保持通入所述惰性气体,并且在步骤(2)中,通入的氮气的量与所述惰性气体的量的比率最终达到1:1。
11.一种具有表面涂层的镍钛合金医疗器械,其特征在于,所述表面涂层是通过权利要求1~10中任一项所述的方法制备的;所述表面涂层由内至外包括钛过渡层、钛-氮化钛梯度过渡层和纯氮化钛层;且在所述钛-氮化钛梯度过渡层中,氮化钛的含量是梯度均匀增加的。
12.根据权利要求11所述的镍钛合金医疗器械,其特征在于,所述医疗器械为正畸丝。
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