[发明专利]一种多工位移动型显微镜检测设备

说明书

本发明公开了一种多工位移动型显微镜检测设备。该设备属于机械自动化技术领域，解决了现有技术中显微镜检测设备检测精度低、易损伤硅晶片、自动化程度低的问题，包括底座，底座表面设有输送硅晶片的输送装置，端部设有用于装夹硅晶片的定位夹具，侧部设有控制箱，控制箱内侧固定连接有架于输送装置上方的固定桥臂，桥臂端部连接有显微镜，显微镜正对于输送装置。本发明利用输送装置，使硅晶片准确输送至显微镜下，不仅输送方向多样化，定位精准化，而且避免了工作人员在高温、易爆、腐蚀等环境下的工作，提升了人员的安全性，利用吸附夹具对硅晶片进行吸引移用，不仅使硅晶片稳定运输，而且避免污染硅晶片，提升了测量的精度。

技术领域

本发明属于机械自动化技术领域，具体地说，尤其涉及一种多工位移动型显微镜检测设备。

背景技术

随着科技发展，电子产业突飞猛进，各种集成、控制电路需求急剧增长，对芯片封装的需求也增长迅猛，其中芯片由硅晶片制成，对硅晶片进行多元化检测是确保产品质量的最终目的。目前市场上的硅晶片大多采用人工控制显微镜进行检测，不仅检测精度受人工影响大，而且生产效率低，同时，一些检测需要在特定的环境，如高温、易爆、腐蚀等环境下进行检测，容易对工作人员造成损伤。

发明内容

本发明目的在于提供一种检测精度高、硅晶片无损化、自动化程度高的多工位移动型显微镜检测设备。

为了实现上述技术目的，本发明多工位移动型显微镜检测设备采用的技术方案为：

一种多工位移动型显微镜检测设备，包括底座，所述底座表面设有输送硅晶片的输送装置，端部设有用于装夹硅晶片的定位夹具，侧部设有控制箱，所述控制箱内侧固定连接有架于输送装置上方的固定桥臂，所述桥臂端部连接有多功能显微镜，所述多功能显微镜正对于输送装置；

所述输送装置包括与定位夹具背面固定连接的沿Y轴轴向运动的Y轴运动机构、与Y轴运动机构固定连接的沿Z轴轴向运动的Z轴运动机构以及架设于底座表面的沿X轴轴向运动的X轴运动机构，所述X轴运动机构两侧设有手动滑动机构，所述Y轴运动机构包括固定连接于定位夹具背面的第一滑块，所述第一滑块底部与Y轴滑轨滑动连接，所述Y轴滑轨设于定位夹具底部，且滑道设于定位夹具内侧，所述第一滑块背面与Z轴滑轨滑动连接，所述Z轴运动机构包括设于定位夹具外侧的Z轴滑轨，所述Z轴滑轨竖直设置，且其表面滑动连接第一滑块，所述X轴运动机构包括正对于定位夹具出口的X轴滑轨，所述X轴滑轨表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块表面固定连接有用于吸附硅晶片的吸附夹具，所述手动滑动机构包括设于X轴滑轨两侧的滑动平台，所述滑动平台沿X轴轴向设置，其底部设有用于驱使滑动平台滑动的移动盘，所述移动盘底部设有支撑架，所述支撑架置于底座上方，所述滑动平台底部设有L形连接块，所述L形连接块前端设有促使滑动平台移动的手动启动按钮。

优选的，所述定位夹具包括盛放硅晶片的盒体，盒体表面设有盒盖，盒体侧部设有沟形插槽，沟形插槽内插设有阻挡板，阻挡板表面固定连接于第一滑块内侧。通过设置盒体，使硅晶片稳定有序地存放，同时也被后续的检测作好准备。

优选的，所述吸附夹具包括固定于第二滑块表面截面成L形的陶瓷基底，陶瓷基底前端上、下表面均设有多个密集微孔，陶瓷基底后端通过螺钉与第二滑块固定连接，密集微孔内填充有用于吸附硅晶片的硅胶。利用陶瓷基底上、下表面的密集微孔，形成吸物理吸附性，再利用硅胶的摩擦吸附性能，使硅晶片稳定于陶瓷基底表面，提升检测的精确性。

优选的，所述控制箱内侧设有用以显示测试结果的数据显示屏。利用数据显示屏直观展示检测结果。

优选的，所述控制箱内部设有用于传输数据的RS232C通信数据接口以及电源。

优选的，所述多功能显微镜底部设有快换目镜机构，快换目镜机构包括设于显微镜底部的旋转盘，旋转盘均布有多个目镜。通过设置快换目镜机构，使显微镜依据检测要求进行更换，从而令使用范围得到扩展。