[发明专利]一种光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统及其方法

权利要求书

1.一种光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，包括：

回收净化单元，对光纤加热炉的废氦气进行回收和净化；

收集压缩单元，连接所述回收净化单元，包括控制器以及沿氦气流动方向依次连接的柔性氦气球囊和压缩机，所述控制器根据所述柔性氦气球囊的氦气量控制所述压缩机动作；

纯化单元，对所述收集压缩单元所提供氦气进行纯化；以及

供气单元，向光纤加热炉提供氦气，并存储来自于所述纯化单元的氦气。

2.根据权利要求1所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述柔性氦气球囊上设有高度传感器，所述控制单元根据所述高度传感器所测的氦气球囊高度控制所述压缩机动作。

3.根据权利要求2所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述压缩机为两台且并联设置，所述收集压缩单元还包括精密过滤器组，所述压缩机后端依次经第一单向阀和背压阀连接所述精密过滤器组。

4.根据权利要求3所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述柔性氦气球囊为柔性高密封材质，其上设有液体密封装置，当柔性氦气球囊压力高于安全压力后，其内部氦气推开该液体密封装置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述纯化单元包括通过低温气动阀连接的低温纯化器和液氮气源，所述低温纯化器分别通过泄压管路、仪表尾气收集管路与所述柔性氦气球囊连接。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述供气单元包括：

高纯氦气分配器，向所述光纤加热炉中各个单体炉分配氦气；

主气罐，通过设有第二阀门、第二单向阀的主供气支路连接所述高纯氦气分配器；以及

缓冲气罐，接收来自于所述纯化单元的氦气，通过设有第三阀门、第三单向阀的氦气补充支路连接所述高纯氦气分配器。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述回收净化单元包括回收工装、过滤净化装置和尾气集气管，所述回收工装安装在光纤加热炉上配合所述过滤净化装置进行氦气抽取，所述过滤净化装置的出口连至所述尾气集气管，所述尾气集气管连接所述柔性氦气球囊。

8.根据权利要求7所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，所述过滤净化装置包括沿氦气流动方向的除尘组件、电磁阀、手动针阀、真空泵、缓冲罐、流量计和第四单向阀，所述除尘组件由两组并联的除尘过滤器及其进口阀门、出口阀门组成。

9.一种光纤加热炉尾气回收纯化循环方法，基于所述权利要求1至8中任一项所述的光纤加热炉尾气回收纯化循环利用系统，其特征在于，包括如下循环步骤：

步骤一、回收净化单元收集来自于光纤加热炉的废氦气并对其进行净化：

步骤二、收集压缩单元利用柔性氦气球囊收集来自于回收净化单元的废氦气，并根据柔性氦气球囊的氦气量控制所述压缩机开启或关闭；

步骤三、纯化单元对来自于收集压缩单元的氦气进行纯化；

步骤四、供气单元向光纤加热炉提供氦气，并收集来自于纯化单元的氦气。