[发明专利]大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法

权利要求书

1.一种具有前表面和后表面以及至少1,000mm的对角线长度的大尺寸合成石英玻璃衬底，其中在所述前表面和/或后表面上限定有效范围，将所述有效范围划分为多个评价区域使得所述评价区域彼此部分重叠，并且每个评价区域中的平坦度为至多3μm。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃衬底，其中所述衬底为矩形，所述有效范围为通过去除从衬底表面的每侧延伸10mm的带而限定在所述衬底表面上的矩形范围，所述矩形范围具有两对相对的侧边，所述评价区域由有效范围的一对相对侧边和与另一对相对侧边平行的两条直线划定，且沿着一对相对侧边具有100至300mm的宽度。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃衬底，其中对于每个评价区域，所述评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的重叠面积为每个评价区域的面积的50％至98％。

4.根据权利要求1所述的石英玻璃衬底，其中对于每个评价区域，所述评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异为至多0.8μm。

5.一种用于评价具有前表面和后表面以及至少1,000mm对角线长度的大尺寸合成石英玻璃衬底的平坦度的方法，其中在前表面和后表面中的一个或两个上限定有效范围，该方法包括以下步骤：

将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，

测量每个评价区域内的平坦度。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括以下步骤：计算一个评价区域中的平坦度和与所述一个评价区域重叠的另一评价区域中的平坦度之间的差异。

7.一种制造大尺寸合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据权利要求5的方法评价大尺寸石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。

8.一种制造大尺寸合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据权利要求6所述的方法评价大尺寸石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度和平坦度差异确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。