[发明专利]一种用于眼科的高频超声相控阵阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201810429105.7 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN108903975B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 朱本鹏;雷爽;张桃;欧阳君;杨晓非 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | A61B8/10 | 分类号： | A61B8/10;A61B8/06 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 眼科 高频 超声 相控阵 阵列 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于眼科的高频超声相控阵阵列的制备方法，其特征在于，包括：
(1)从两个垂直方向切割压电单晶，形成多个单晶棒，单晶棒之间的切口用环氧树脂填充，对于每个单晶棒从两个垂直方向进行切割，形成多个新的单晶棒，新的单晶棒之间的切口用环氧树脂填充，得到单晶和环氧树脂的复合物；
(2)将单晶和环氧树脂的复合物中每一行新的单晶棒以及新的单晶棒之间的环氧树脂作为一个阵元，在每一个阵元的上表面和下表面添加电极层，在下表面的电极层上添加背衬层，在上表面的电极层依次添加柔性电路和匹配层，得到高频超声相控阵阵列；
所述高频超声相控阵阵列的频率大于等于20MHz；
所述高频超声相控阵阵列的阵元大于等于128个。
2.如权利要求1所述的一种用于眼科的高频超声相控阵阵列的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)包括：
(1-1)从两个垂直方向切割压电单晶，形成多个单晶棒，单晶棒之间的切口用环氧树脂填充，所述单晶棒之间的中心距离为70μm-140μm，所述单晶棒之间的切口的宽为10μm-15μm；
(1-2)当环氧树脂固化后，在真空中除去单晶棒之间的切口的气泡，然后对于每个单晶棒利用干法刻蚀或者激光切割从两个垂直方向进行切割，形成多个新的单晶棒，新的单晶棒之间的切口用环氧树脂填充，所述新的单晶棒之间的中心距离为35μm-70μm，所述新的单晶棒之间的切口的宽为10μm-15μm，当环氧树脂固化后，在真空中除去新的单晶棒之间的切口的气泡，得到单晶和环氧树脂的复合物。
3.如权利要求1或2所述的一种用于眼科的高频超声相控阵阵列的制备方法，其特征在于，所述切割为激光切割、干法刻蚀或者机械切割。
4.如权利要求1或2所述的一种用于眼科的高频超声相控阵阵列的制备方法，其特征在于，所述压电单晶为PIN-PMN-PT、PMN-PT、PMN-PZT或者KNN。
5.一种用于眼科的高频超声相控阵阵列，其特征在于，所述高频超声相控阵阵列由权利要求1-4任一所述的一种用于眼科的高频超声相控阵阵列的制备方法制备得到。
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