[发明专利]激光加工装置

说明书

本发明涉及激光加工装置，能够进行使期望的加工距离与实际的加工距离一致的、高精度的激光加工。所述激光加工装置具备能够使激光束扫描的扫描头；扫描头的移动单元；扫描头控制装置；以及移动控制装置，扫描头控制装置基于与轨迹动作有关的加工参数来控制扫描头，使得沿第一方向以及第二方向来使激光束扫描，扫描头控制装置具有距离计算部，所述距离计算部根据从扫描头相对于被加工物的垂线与激光束的照射方向所成的角θ和焦点距离的信息来计算期望的加工距离与实际的加工距离之差，基于该计算结果，移动控制装置校正移动单元的进给速度、或者扫描头控制装置校正加工参数，以使期望的加工距离与实际的加工距离一致。

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置。

背景技术

以往，已知一种具备能够使激光束扫描的扫描头的激光加工装置(例如参照专利文献1～3)。这样的激光加工装置能够一边移动扫描头一边对被加工物使激光束扫描来进行激光加工。

专利文献1：日本特开昭63-204407号公报

专利文献2：日本特开昭63-223806号公报

专利文献3：日本特开2012-218030号公报

发明内容

发明要解决的问题

一边移动扫描头一边使激光束扫描的激光加工装置基于规定的加工参数使激光束扫描，并且根据该加工参数计算使扫描头移动的进给速度，基于该进给速度的计算结果来控制扫描头的移动。但是，在这样的激光加工装置中存在以下这样的课题。

图10、图11表示在机器人100的前端部设置扫描头101，由机器人100使扫描头101进行移动的例子。在此，如图10所示，在从扫描头101使激光束LB扫描来对被加工物的加工面进行摆动加工的情况下，有时在加工结束时得到的实际的加工距离PL₁比期望的加工距离PL₀短。这被认为是由于使激光束LB扫描的检流计镜的动作在摆动的端减速的影响导致的。

另一方面，如图11所示，还有时在加工结束时得到的实际的加工距离PL₁比期望的加工距离PL₀长。这被认为是由于机器人100在拐角部减速的影响等导致的。

像这样，在以往的激光加工装置中，在进行激光加工时，有时发生期望的加工距离与实际的加工距离不同，因而存在改善的余地。

因此，本发明的目的在于提供一种能够进行使期望的加工距离与实际的加工距离一致的、高精度的激光加工的激光加工装置。

用于解决问题的方案

(1)本发明所涉及的激光加工装置(例如后述的激光加工装置10)具备：扫描头(例如后述的扫描头2)，其能够使激光束扫描；移动单元(例如后述的机器人1)，其使所述扫描头以规定的进给速度进行移动；扫描头控制装置(例如后述的扫描头控制装置4)，其控制所述扫描头；以及移动控制装置(例如后述的机器人控制装置3)，其控制所述移动单元的进给速度，其中，所述扫描头控制装置基于与轨迹动作有关的加工参数来控制所述扫描头，使得沿所述移动单元使所述扫描头移动的第一方向以及与该第一方向正交的第二方向来使激光束扫描，所述扫描头控制装置具有距离计算部(例如后述的距离计算部4c)，所述距离计算部获取从所述扫描头相对于被加工物的垂线与所述激光束的照射方向所成的角θ和焦点距离的信息，并且计算期望的加工距离与实际的加工距离之差，基于所述距离计算部的计算结果，所述移动控制装置进行控制以校正所述移动单元的进给速度、或者所述扫描头控制装置进行控制以校正所述加工参数，以使期望的加工距离与实际的加工距离一致。