[发明专利]一种激光器腔内颗粒检排装置有效
申请号: | 201810431941.9 | 申请日: | 2018-05-08 |
公开(公告)号: | CN110449413B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 杜仕峰;彭钦军;薄勇;王志超;张申金;许祖彦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04;B08B6/00;B08B13/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光器 颗粒 装置 | ||
1.一种激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,包括:紫外灯、吸嘴和吸尘器;所述紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒,所述紫外灯的光线照射到吸嘴的正前方一定距离处,所述吸嘴的后端与所述吸尘器相连,所述吸嘴呈细长状、具有磁性、由柔性材料制成,吸嘴用于伸入狭窄空间抵达已检查发现的腔内微颗粒位置实现近距离强吸引力排除,所述吸嘴内部具有第一通道,所述第一通道从所述吸嘴的前端至后端贯穿所述吸嘴,所述第一通道与所述吸尘器的吸入口相连通;
所述吸尘器为风力与静电力混合吸尘器、用于排除固定激光器腔内颗粒,所述吸尘器内部设置电动抽风机和高压电场,所述电动抽风机用于产生强风吸引力,所述高压电场用于产生静电吸附力;
所述吸尘器内部设置低效过滤网状结构,所述低效过滤网状结构用于对吸引的颗粒进行过滤拦截。
2.根据权利要求1所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,还包括:操作手柄;所述操作手柄的一端与所述吸嘴的后端相连,所述操作手柄的另一端通过软管与所述吸尘器相连,所述操作手柄内部具有第二通道,所述第一通道、第二通道以及软管相连通。
3.根据权利要求2所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,所述操作手柄的外侧壁上固定设置一支撑块,所述支撑块背离所述操作手柄的一端面为斜面,所述斜面上设置一与所述斜面平行的凹槽,所述紫外灯放置在所述凹槽内且使得所述紫外灯的光线照射在所述吸嘴的前端。
4.根据权利要求3所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,在所述紫外灯的出光端、所述凹槽内设置凸块,所述凸块位于所述紫外灯出光孔的下边沿,所述凸块用于对所述紫外灯进行支撑和定位。
5.根据权利要求4所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,所述凹槽内设置至少一个固定孔,所述固定孔用于对所述紫外灯进行安装固定。
6.根据权利要求2所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,所述第一通道和所述第二通道为圆形,且所述第一通道和所述第二通道的直径均为:0.2mm-20mm;所述软管的内径为:0.2mm-20mm;所述紫外灯的光线与所述吸嘴的轴线相交点与所述吸嘴前端端面的距离为:1mm-10mm。
7.根据权利要求2所述的激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,所述吸嘴、操作手柄、软管以及吸尘器依次相连且在连接处分别通过螺纹紧固件进行可拆卸连接,在所述螺纹紧固件的接口部位设置O圈密封。
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