[发明专利]带电粒子显微镜中的图像处理

说明书

一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：‑源，用于产生带电粒子的射束；‑样品保持器，用于保持样品；‑光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；‑控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：‑使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I₁,…,I_n,…,I_N}；‑组合所述分量图像以便聚集复合图像，进一步包括在所述组合步骤之前执行的以下步骤：‑接连地量化每一个分量图像，并且将它存储在存储器中；‑针对每一个经量化的分量图像记录每像素的量化误差，以及针对经量化的分量图像{I₁,…,I_n}保存每像素的累积量化误差的运转记录T_n；‑当针对给定像素量化下一分量图像I_n+1时，选择将趋于避免相对于T_n而进一步增加T_n+1的量化极性，使得：●如果T_n为正，那么T_n+1将更负；●如果T_n为负，那么T_n+1将更正；●如果T_n为零，那么允许T_n+1为正、负或零。

技术领域

本发明涉及使用带电粒子显微镜的方法，以及在其中可以执行这样的方法的带电粒子显微镜。

本发明涉及使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：

- 源，用于产生带电粒子的射束；

- 样品保持器，用于保持样品；

- 光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；

- 检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；

- 控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，

所述方法包括以下步骤：

- 使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I₁,…,I_n,…,I_N}；

- 组合所述分量图像以便聚集复合图像。

本发明还涉及在其中可以执行这样的方法的带电粒子显微镜。

背景技术

带电粒子显微镜是用于对微观物体进行成像的公知且越来越重要的技术，特别地，以电子显微镜的形式。在历史上，基本种类的电子显微镜已经经历演变而成为数个公知的装置类别，诸如，透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）和扫描透射电子显微镜（STEM），以及还演变成为各种子类别，诸如，所谓的“双射束”工具（例如，FIB-SEM），其传统上采用“加工”聚焦离子射束（FIB），从而允许支持性活动，诸如，例如离子射束研磨或者离子射束诱导沉积（IBID）。更具体地：

- 在SEM中，通过扫描电子射束对样品的辐照促成来自样品的“辅助”辐射的放射，例如，以二次电子、背向散射电子、X射线和阴极发光（红外、可见和/或紫外光子）的形式；该放射辐射的一个或多个分量然后被检测并且用于图像累积目的。

- 在TEM中，将用于辐照样品的电子射束选择为具有足够高的能量以便穿透样品（其为此目的将一般地比SEM样品的情况下更薄）；从样品放射的透射电子然后可以用于创建图像。当在扫描模式中操作这样的TEM（因而变为STEM）时，所讨论的图像将在辐照电子射束的扫描运动期间累积。

关于此处阐述的话题中的一些的更多信息可以例如从以下Wikipedia链接搜集：

en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope