[发明专利]一种四晶单色仪的光路校准方法及校准装置

权利要求书

1.一种四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一光源(1)，第一接收屏(2)以及四晶单色仪(3)；所述四晶单色仪(3)包括第一晶体(31)，第二晶体(32)，第三晶体(33)以及第四晶体(34)；

使所述光源(1)发出的入射光照射到所述第一接收屏(2)上，并记录所述第一接收屏(2)上的光斑位置为第一光斑位置；

保持所述光源(1)和所述第一接收屏(2)的相对位置不变，并将所述四晶单色仪(3)设置于所述光源(1)与所述第一接收屏(2)之间；

使所述光源(1)发出的入射光照射到所述所述第一晶体(31)上，所述入射光依次经过所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)反射后的出射光照射到所述第一接收屏(2)上，并记录所述第一接收屏(2)上的光斑位置为第二光斑位置；

调整所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和第四晶体(34)中的至少一个晶体，以使所述第二光斑位置与所述第一光斑位置为同一位置。

2.根据权利要求1所述的四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，所述调整所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)中的至少一个晶体，以使所述第二光斑位置与所述第一光斑位置为同一位置，包括如下步骤：

在所述第二晶体(32)和所述第三晶体(33)之间设置第二接收屏；所述第二接收屏将所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)分隔为由所述第一晶体(31)和所述第二晶体(32)组成的第一晶体组，以及由所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)组成的第二晶体组；

调整所述第一晶体组中的至少一个晶体，以使所述入射光经过所述第一晶体组的反射后，照射到所述第二接收屏上的指定位置；

移除所述第二接收屏，并调整所述第二晶体组中的至少一个晶体，以使所述第二光斑位置与所述第一光斑位置为同一位置。

3.根据权利要求1或2所述的四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，所述入射光通过所述四晶单色仪(3)的入射狭缝(35)照射到所述第一晶体(31)上，所述出射光通过所述四晶单色仪(3)的出射狭缝(36)射出所述四晶单色仪(3)。

4.根据权利要求3所述的四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)均为平面镜。

5.根据权利要求4所述的四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，所述光源(1)为激光源。

6.根据权利要求4所述的四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，所述第一接收屏(2)上的光斑的直径小于等于2mm。

7.一种四晶单色仪的光路校准装置，其特征在于，包括：

光源(1)；

第一接收屏(2)，所述第一接收屏(2)和所述光源(1)设置于光学平台的同一轨道上；

四晶单色仪(3)，包括第一晶体(31)，第二晶体(32)，第三晶体(33)以及第四晶体(34)；所述四晶单色仪(3)可拆卸地设置于所述光源(1)和所述第一接收屏(2)之间；

所述四晶单色仪的光路校准装置用于实现权利要求1-6任一项所述的四晶单色仪的光路校准方法。

8.根据权利要求7所述的四晶单色仪的光路校准装置，其特征在于，还包括：

第二接收屏，所述第二接收屏可拆卸地设置于所述第二晶体(32)和所述第三晶体(33)之间，所述第二接收屏将所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)分隔为由所述第一晶体(31)和所述第二晶体(32)组成的第一晶体组，以及由所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)组成的第二晶体组。

9.根据权利要求7或8所述的四晶单色仪的光路校准装置，其特征在于，所述光源(1)为激光源。