[发明专利]光谱辐射亮度响应度测量系统在审
| 申请号： | 201810435108.1 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN110470400A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 孙广尉;孙红胜;王加朋;张玉国;杨旺林;宋春晖;吴红霞 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辐射计 光谱辐射 匀光装置 校准 亮度计 响应度 真空紫外光辐射 辐射 光辐射 预定波长 参考 对准 光学测试设备 真空紫外光源 测量系统 分光装置 均匀处理 切换装置 无油真空 真空环境 控制器 输出 分光 入射 测量 | ||
1.一种光谱辐射亮度响应度测量系统，其特征在于，该系统包括真空紫外光源、真空紫外单色分光装置、真空紫外匀光装置、参考辐射亮度计、切换装置、控制器和无油真空仓，其中，
所述无油真空仓为所述真空紫外光源、所述真空紫外单色分光装置、所述真空紫外匀光装置、所述真空紫外辐射亮度计和所述切换装置提供真空环境；
所述真空紫外光源用于发出真空紫外光辐射；
所述真空紫外单色分光装置用于对入射的真空紫外光辐射进行分光处理，输出预定波长的光辐射；
所述真空紫外匀光装置用于对输出的预定波长的光辐射进行均匀处理；
所述切换装置用于在所述参考辐射亮度计对准所述真空紫外匀光装置和待校准辐射计对准所述真空紫外匀光装置之间切换，所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别对均匀处理后的光辐射进行辐射亮度值测量；
所述控制器用于根据所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别测量得到的辐射亮度值计算所述待校准辐射计的光谱辐射亮度响应度。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空紫外光源为氘灯。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述真空紫外单色分光装置包括真空紫外光栅、扫描旋转机构、电机驱动控制机构和光路偏转机构。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述真空紫外匀光装置为真空准直漫透射镜。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述参考辐射亮度计为光阑式真空紫外辐射亮度计。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述切换装置为二维切换转台。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空紫外匀光装置、所述参考辐射亮度计和所述切换装置设置在所述无油真空仓内。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述真空紫外单色分光装置具有输入接口和输出接口，所述输入接口与所述真空紫外光源连接，所述输出接口与所述无油真空仓连接，所述无油真空仓通过所述输入接口和所述输出接口对所述真空紫外单色分光装置和所述真空紫外光源抽真空以提供真空环境。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京振兴计量测试研究所，未经北京振兴计量测试研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810435108.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
