[发明专利]大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆

权利要求书

1.一种供有机蒸气射流OVJP沉积用的印刷杆，所述印刷杆包含：

多个印刷头段，所述多个印刷头段各自包含OVJP印刷头；

多个飞行高度距离传感器，所述多个飞行高度距离传感器各自经配置以测量所述印刷杆下方所安置的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离；和

多个致动器，其经配置以根据所述衬底与所述印刷杆之间的一或多种距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向，所述距离由所述多个飞行高度距离传感器中的一或多个测量，其中所述多个致动器中的每个致动器连接到所述多个印刷头段中的至少两个并且经配置以控制所述多个印刷头段中的至少两个的所述位置和/或定向，

其中当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，所述多个印刷头段在与所述印刷杆相对于所述衬底的移动方向垂直的方向上布置成两行，

其中所述多个印刷头段安置成所述行，使得当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，每一行中的全部OVJP印刷头的印刷区域在所述衬底上的像素的单一列上印刷。

2.根据权利要求1所述的印刷杆，其中每个OVJP印刷头包含与载气源和有机材料蒸气源处于流体连通的OVJP沉积喷嘴。

3.根据权利要求1所述的印刷杆，其中所述多个致动器中的每一个根据所述多个飞行高度传感器中的两个或更多个所获得的距离测量值来控制所述多个印刷头段中的所述至少两个的所述位置和/或定向。

4.根据权利要求1所述的印刷杆，其中所述多个致动器中的每一个根据所述至少一个飞行高度传感器中的至少一个所获得的距离测量值来控制所述多个印刷头段中的所述至少两个的所述位置和/或定向。

5.根据权利要求1所述的印刷杆，其中所述多个印刷头段中的每个印刷头段能独立于所述多个印刷头段中的每个其它印刷头段移动。

6.根据权利要求5所述的印刷杆，其中每个印刷头段至少在与所述衬底正交的方向上能独立于每个其它印刷头段移动，使得所述每个印刷头段距所述衬底的距离能独立于每个其它印刷头段距所述衬底的距离加以调节。

7.根据权利要求1所述的印刷杆，进一步包含一或多个气体通道，所述气体通道经布置以将有机材料和/或载气传输到所述多个印刷头段。

8.根据权利要求1所述的印刷杆，进一步包含一或多个真空通道，所述真空通道经布置以便当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，从所述印刷杆与所述衬底之间的区域去除材料。

9.根据权利要求1所述的印刷杆，进一步包含邻近于所述多个印刷头段安置的冷板。

10.一种使用有机蒸气射流OVJP沉积制造装置的方法，所述方法包含：

操作包括多个印刷头段的印刷杆以使材料沉积于衬底上，所述多个印刷头段中的每一个包含OVJP印刷头；

从多个飞行高度距离传感器中的每一个接收距离测量值，所述多个飞行高度距离传感器中的每一个经配置以测量印刷杆下方所安置的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离；和

根据所述距离测量值中的一或多个来启动多个致动器中的一或多个致动器以调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向，其中所述多个致动器中的每个致动器连接到所述多个印刷头段中的至少两个并且经配置以控制所述多个印刷头段中的至少两个的所述位置和/或定向，

其中当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，所述多个印刷头段在与所述印刷杆相对于所述衬底的移动方向垂直的方向上布置成两行，

其中所述多个印刷头段安置成所述行，使得当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，每一行中的全部OVJP印刷头的印刷区域在所述衬底上的像素的单一列上印刷。

11.根据权利要求10所述的方法，所述方法进一步包含在所述移动方向上使所述衬底相对于所述多个印刷头段移动、使所述多个印刷头段相对于所述衬底移动，或其组合。