[发明专利]补料装置及蒸镀设备

说明书

本发明提供一种补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，坩埚设于真空反应室内，喂线机构安装在真空反应室的内壁上，喂线机构向坩埚输送线型材料，线型材料在坩埚内被熔融为液体并蒸发，压力感应器用于检测坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至控制件，控制件根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，以使坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。通过压力感应器监测坩埚的重量，控制件根据压力感应器提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，从而使得坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。本发明还提供了一种蒸镀设备。

技术领域

本发明属于显示技术领域，尤其涉及一种补料装置及蒸镀设备。

背景技术

在OLED器件制作过程中，需要用到蒸镀制程，通过坩埚将金属材料熔融并形成蒸汽，将金属蒸汽通过掩膜版沉积在基板上，制成薄膜结构。在蒸镀过程中，需要不断将金属原材料投入坩埚中，以产生稳定的金属蒸汽，而蒸镀制程一般都在真空环境中进行，传统的补料方法为固定间隔时间进行补料，此方法存在以下问题：

蒸汽的产生和消耗是受多重因素影响的，例如，当坩埚的温度偏低或偏高，使得蒸汽产生的速度会偏慢或偏快，又或者，由于蒸汽消耗主要是在基板上，当基板上的薄膜的结构变化时，消耗的蒸汽量也会产生变化，而采用固定时间补料显然不能满足以上工况对于补料的要求，偏差增大会导致经常停机，严重影响工作效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种补料装置，以解决现有技术的补料不能满足要求的问题，实现补料的自动化控制，避免停机而影响工作效率。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。

在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述压力感应器设置于所述坩埚下，所述压力感应器与所述坩埚之间还设有隔热板。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述坩埚与所述压力感应器之间还设有导向柱，所述隔热板包括第一隔热板和第二隔热板，所述第一隔热板设置于所述坩埚和所述导向柱之间，所述第二隔热板设置于所述导向柱与所述压力感应器之间，所述第二隔热板与所述压力感应器之间通过立柱连接，所述导向柱用于将所述坩埚的重量全部传递至第二隔热板，并经所述立柱传递至所述压力感应器。

结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，还设有冷却立板和环板，所述冷却立板顶部设置有所述环板，所述环板围绕所述导向柱设置，以使所述导向柱在所述环板的限位下上下移动，所述冷却立板内设有液流管路，冷却液体在所述液流管路内循环流动，以进行散热。

结合第一方面及第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，还设有保温立板，所述保温立板围绕在所述第一隔热板至所述冷却立板的外周，以减少所述冷却立板的温度散失，以使所述冷却立板用于加热液体。

结合第一方面及第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述冷却立板上还设有支撑板，所述支撑板上设有缓冲弹簧，所述立柱穿设于所述支撑板和所述缓冲弹簧内，所述缓冲弹簧用于承载所述坩埚突变的载荷，以使所述压力感应器受到的冲击减小。