[发明专利]一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑

权利要求书

1.一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑，其特征在于：在正面板(101)上依次分别安装2个相互平行配置的X向驱动控制单元(106)、2个相互平行配置的Y向驱动控制单元(105)、2个相互平行配置的X向支撑导向单元(107)、2个相互平行配置的Y向支撑导向单元(104)及光阑窗口(103)；在背面板(102)安装有2个相互平行的重力补偿单元(108)，所述光阑窗口(103)由2个对应配置的X向光阑板(4)、2个对应配置的Y向光阑板(2)、2个对应配置的X向从动气浮导轨(3)及2个对应配置的Y向从动气浮导轨(1)构成；成对的各单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；

所述X向从动气浮导轨(3)与X向光阑板(4)固连，所述X向从动气浮导轨(3)可移动的装配在Y向窄气浮套(26)内；Y向主动气浮导轨(31)通过Y向导轨座(32)和Y向阻尼导轨座(28)与正面板(101)固连，所述Y向主动气浮导轨(31)安装在Y向支撑导向单元(104)的Y向宽气浮套(30)内；Y向支撑导向单元(104)安装在Y向驱动控制单元(105)的位移输出端，所述Y向支撑导向单元(104)与重力补偿单元(108)相连；

所述Y向从动气浮导轨(1)与Y向光阑板(2)固连，所述Y向从动气浮导轨(1)安装在X向支撑导向单元(107)的X向窄气浮套(9)内；X向主动气浮导轨(10)通过X向导轨座(11)和X向阻尼导轨座(5)与正面板(101)固连，所述X向主动气浮导轨(10)安装在X向支撑导向单元(107)的X向宽气浮套(7)内，X向支撑导向单元(107)安装在X向支撑导向单元(107)安装在X向驱动控制单元(106)的位移输出端；

所述X向驱动控制单元(106)的X向电机驱动系统由X向电机垫板(18)、X向电机磁钢(12)、X向电机动子(14)构成；所述X向电机垫板(18)与X向电机磁钢(12)通过紧固件沿X方向安装在正面板(101)上，X向电机垫板(18)调整X向电机磁钢(12)的高度及平行度；所述X向驱动控制单元(106)的X向反馈控制系统由X向气浮模块(8)、X向读数头调整座(15)、X向读数头(16)、X向光栅尺(17)、X向限位开关(13)及X向阻尼器(6)构成；所述X向光栅尺(17)与X向气浮模块(8)连接；所述X向读数头(16)与X向读数头调整座(15)固接，X向读数头调整座(15)固定在X向电机磁钢(12)的上表面；

所述Y向驱动控制单元(105)的Y向电机驱动系统由Y向电机垫板(19)、Y向电机磁钢(20)、Y向电机动子(22)构成；所述Y向电机垫板(19)与Y向电机磁钢(20)通过紧固件沿X方向安装在正面板(101)上，Y向电机垫板(19)调整Y向电机磁钢(20)的高度及平行度；所述Y向驱动控制单元(105)的Y向反馈控制系统由Y向气浮模块(29)、Y向读数头调整座(24)、Y向读数头(23)、Y向光栅尺(25)、Y向限位开关(21)及Y向阻尼器(27)构成；所述Y向光栅尺(25)与Y向气浮模块(29)连接；所述Y向读数头(23)与Y向读数头调整座(24)固接，Y向读数头调整座(24)固定在Y向电机磁钢(20)的上表面；

所述重力补偿单元(108)包括气缸(34)、气缸安装底座(33)、柔性调整单元(35)；所述气缸(34)通过2个气缸安装底座(33)沿Y方向固定在背面板(102)上，气缸(34)的力输出端(36)通过柔性调整单元(35)与Y向气浮模块(29)固连。