[发明专利]一种曲率可控的复眼透镜的制备方法

权利要求书

1.一种曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：以硅晶片为基片，通过光刻的方法，在所述硅晶片表面覆盖图形化的光刻胶作为掩膜，再通过干法刻蚀，在所述硅晶片上刻蚀微孔阵列；

S2：在所述微孔阵列的表面覆盖PDMS薄膜，并置于可抽气的腔体之上，通过控制所述腔体内的压力调节所述PDMS薄膜的形变，形成平面微透镜阵列结构；

S3：在变形后的所述PDMS薄膜上方浇注光敏胶，固化得到第一光敏胶凸膜；将PDMS混合物中经真空脱气消泡后，浇注到所述第一光敏胶凸模中，固化得到与所述平面微透镜阵列结构相反的第一PDMS弹性凹模；

S4：将所述第一PDMS弹性凹模置于可抽气的腔体之上，通过控制所述腔体内的压力调节所述第一PDMS弹性凹模的形变，在形变后的所述第一PDMS弹性凹模上浇注光敏胶，固化得到具有曲面微透镜阵列结构的第二光敏胶凸模；

S5：将脱泡后的PDMS混合物浇注到所述第二光敏胶凸模上，固化得到第二PDMS凹模；采用所述第二PDMS凹模热压成型PC板；

S6：冷却到室温，脱模，得到PC基的曲面复眼透镜。

2.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述S3中PDMS混合物的固化参数为80℃下固化30min，所述S5中PDMS混合物的固化参数为80℃下固化8h。

3.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述S2中所述PDMS薄膜的形变与所述腔体压力成线性关系，所述腔体内的负压值越大，所述PDMS薄膜的形变越大；

所述S4中所述第一PDMS弹性凹模的形变与所述腔体压力成线性关系，所述腔体内的负压值越大，所述第一PDMS弹性凹模的形变越大；

通过控制所述腔体内的负压值，控制所述PDMS薄膜、所述第一PDMS弹性凹模的形变量，进而控制所述PC基的曲面复眼透镜的曲率。

4.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述S1中所述硅晶片为P型<100>晶向，厚度400μm。

5.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，光刻胶采用AZ5214E，光敏胶采用NOA63。

6.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，PDMS混合物为Sylgard 184；

所述S2中所述PDMS薄膜采用Sylgard 184制备而成，厚度为20μm，杨氏模量为4×10⁶，泊松比为0.5。

7.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，光敏胶采用紫外光固化，所述紫外光采用300W的汞灯线光源，在10cm处照射10min进行固化。

8.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述S5中热压成型条件为：180℃，1KN压力，热压成型12min。

9.根据权利要求1所述的曲率可控的复眼透镜的制备方法，其特征在于，所述S5中所述PC板的原料为PC-1100。