[发明专利]烘烤炉及光阻预烘烤方法

权利要求书

1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：

炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；

开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；

加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；

多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；

当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；

所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。

2.如权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)包括设于所述烘烤腔(51)靠近出入口(52)一侧底部的第一喷气管(1)以及设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第一喷气管(1)上方的第二喷气管(2)；

所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第一道热气墙。

3.如权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括设于所述烘烤腔(51)远离出入口(52)一侧底部的第三喷气管(3)、设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第三喷气管(3)上方的第四喷气管(4)以及设于所述述烘烤腔(51)顶部并位于所述第二喷气管(2)和第四喷气管(4)之间的第五喷气管(5)；

所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第二道热气墙；

所述第五喷气管(5)斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，用于形成第三道热气墙。

4.如权利要求3所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；

所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；

所述第二喷气管(2)、第五喷气管(5)及第四喷气管(4)相对于水平面的喷气角度逐渐减小；

用于形成所述第一道热气墙、第二道热气墙和第三道热气墙的喷气管(40)相对于各自最接近的炉体(50)内表面呈15°-60°角喷出热气，所述第三道热气墙覆盖用于形成第一道热气墙的喷气管(40)，所述第二道热气墙覆盖用于形成第三道热气墙的喷气管(40)。

5.如权利要求4所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)相对于水平面呈45°角分别斜向上、斜向下喷出热气；

所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)相对于水平面呈15°角分别斜向上、斜向下喷出热气；

所述第五喷气管(5)相对于水平面呈30°角斜向下喷出热气。

6.如权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括设于所述烘烤腔(51)远离出入口(52)一侧中部的第六喷气管(6)；

所述第六喷气管(6)的喷嘴(42)为广角扇形喷气嘴，用于整面推进气流向烘烤腔(51)外运动。

7.如权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括设于所述烘烤腔(51)远离出入口(52)一侧底部的第七喷气管(7)；

所述第七喷气管(7)水平朝出入口(52)喷出热气，用于扫除所述加热板(30)表面的气体。

8.如权利要求3所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括分别由第二喷气管(2)的两端沿炉体(50)侧面垂直向下延伸至第一喷气管(1)两端的第八喷气管(8)和第九喷气管(9)、由第四喷气管(4)的两端沿炉体(50)侧面垂直向下延伸至第三喷气管(3)两端的第十喷气管(10)和第十一喷气管(11)、由第五喷气管(5)的两端沿炉体(50)侧面垂直向下延伸至炉体(50)下表面的第十二喷气管(12)和第十三喷气管(13)。