[发明专利]一种干切削刀具及其制备方法有效
| 申请号： | 201810443034.6 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108624881B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;代慧;黄学飞;盛永华;周华 | 申请（专利权）人： | 广州番禺职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/36;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈燕娴 |
| 地址： | 511483 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干切削刀具 预处理 刀具表面 复合涂层 软涂层 沉积 制备 化学气相沉积 刀具前刀面 干切削加工 纳米级凹槽 刀具涂层 多元复合 纳米凹槽 涂层刀具 反应室 抗氧化 耐高温 耐磨损 激光 加工 应用 | ||
1.一种干切削刀具，该刀具设置有软涂层的纳米级凹槽，刀具表面设置有复合涂层，其特征在于：该复合涂层从内到外依次包括TiN、Al2O3、TiCN、cBN，及MoS2-Ti，所述TiN涂层的厚度为5～10μm，所述Al2O3涂层的厚度为10～20μm，所述TiCN涂层的厚度为5～10μm，所述cBN涂层的厚度为5～15μm，所述MoS2-Ti涂层的厚度为10～15μm，所述TiN、Al2O3、TiCN及cBN涂层采用化学气相沉积制得，所述MoS2-Ti涂层采用物理气相沉积制得；
所述TiN涂层采用N2作为氮源反应气体，采用TiCl4作为钛源反应材料，采用H2作为载气和稀释气体；所述TiCN涂层采用N2作为氮源反应气体，采用TiCl4作为钛源反应材料，采用CH3CN作为碳源反应气体，采用H2作为载气和稀释气体；所述Al2O3涂层采用AlCl3作为铝源反应气体，采用CO2和H2O作为氧化气体，载气为H2，并增加催化气体PCl3；cBN涂层采用N2和NH3作为氮源反应气体，采用BF3作为硼源反应气体，采用H2作为载气和稀释气体；MoS2-Ti涂层采用物理气相沉积中的磁控溅射离子镀的方法，采用Ti靶和两个MoS2靶制得；
干切削刀具的前刀面设置有纳米级凹槽，所述凹槽的截面为三角形，三角形的第一边的方向沿着前刀面，第二边的方向垂直于前刀面，第三边的方向与前刀面有一夹角。
2.根据权利要求1中所述的干切削刀具，其特征在于，所述TiN涂层及所述TiCN涂层采用TiCl4为钛源反应气体，先将TiCl4的温度升高到136℃以上，采用水浴加热来获得TiCl4气体，并用载气H2进行输送。
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