[发明专利]一种电子元件生产的光刻装置

权利要求书

1.一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的左右两侧对称固定安装有两块侧板(2)，侧板(2)的顶部固定安装有顶板(3)；所述顶板(3)底部的左右两侧对称固定安装有第一机架(4)和第二机架(7)，第一机架(4)和第二机架(7)的内侧转动安装有第二螺杆(16)和第三螺杆(19),第二螺杆(16)和第三螺杆(19)的下端通过皮带(18)传动连接；所述第二螺杆(16)和第三螺杆(19)上均螺纹连接有第二螺套(17)和第三螺套(20)，第二螺套(17)和第三螺套(20)均与顶板(3)滑动连接；所述第三螺套(20)的内侧固定安装有电机罩(21)，电机罩(21)的内部固定安装有第一电机(22)，第一电机(22)的输出端固定安装有第一螺杆(5)，第一螺杆(5)的另一端与第二螺套(17)转动连接；所述第一螺杆(5)上螺纹连接有第一螺套(6)，第一螺套(6)的上端与顶板(3)滑动连接；所述第一螺套(6)的下侧固定安装有伸缩装置(8)，伸缩装置(8)的伸缩端固定连接有光刻机(9)；所述底座(1)上的中间位置固定安装有固定装置(10)，固定装置(10)为中间开有圆槽的块状结构；所述固定装置(10)位于圆槽的周围均匀开设有若干滑槽(25)，滑槽(25)的内部滑动安装有滑块(27)，滑块(27)的一端通过伸缩弹簧(26)与滑槽(25)固定连接，滑块(27)的另一端固定安装有卡块(28)。

2.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述顶板(3)的底部还固定安装有第二电机(24)。

3.根据权利要求2所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述第二电机(24)的输出端通过锥齿轮组(23)与第三螺杆(19)传动连接。

4.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述卡块(28)为弧形结构。

5.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述底座(1)的四角处均固定安装有支架(12)。

6.根据权利要求5所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支架(12)的下端滑动安装有支腿(14)。

7.根据权利要求6所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支腿(14)的一端通过减震弹簧(13)与支架(12)固定连接。

8.根据权利要求7所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支腿(14)的另一端固定安装有防滑脚垫(15)。

9.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述第一电机(22)和第二电机(24)均为步进电机结构，第一电机(22)和第二电机(24)的型号为35BYG250B-0081。

10.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述侧板(2)的外侧还固定安装有显示屏(11)，显示屏(11)与光刻机(9)电性连接。