[发明专利]废气处理系统

说明书

本发明公开了一种废气处理系统，包括：废气处理腔；低温等离子体产生模块，低温等离子体产生模块对应废气处理腔设置，低温等离子体产生模块通过对废气处理腔内的废气放电以产生低温等离子体；废气参数获取模块，废气参数获取模块用于获取进入废气处理腔的废气的参数；主控制器，主控制器分别与废气参数获取模块和低温等离子体产生模块相连，主控制器用于根据废气的参数对低温等离子体产生模块进行控制，以使整个废气处理腔内的低温等离子体保持稳定状态。根据本发明的废气处理系统，能够提高废气处理效果，具有环保、经济和节能等优点。

技术领域

本发明涉及工业废气处理技术领域，特别涉及一种废气处理系统。

背景技术

挥发性有机物(VOCs)来源广，组成复杂，种类繁多，具有光化学活性， 是形成细颗粒物(PM2.5)和臭氧的重要前提物质。怎样高效经济地处理工业 VOCs，成为了人们越来越关注的问题。传统的方法主要有焚烧法，吸附法和 生物降解法等。焚烧法处理这些物质需要较高的温度，因为有些挥发性有机物 具有很高的耐热稳定性，能耗大，经济成本高，还容易形成二次污染；吸附法 净化效率高，但吸附剂的用量大且设备投资高，需要一定的湿度条件才能进行， 不能使废气彻底降解；生物降解法，设备相对复杂，占地面积大，用时长，对浓度波动大的废气适用性差，处理效率相对低。因此，对低温等离子体处理工 业废气的研究成为了人们研究的热点。

低温等离子体是继气态，固态，液态之后的物质第四态。低温等离子体中 含有大量的高活性粒子，使很多需要高活化能的化学反应得以进行，使常规方 法难以去除的有害物质得以转化或分解。目前已有很多人对这方面做了研究， 国内有人对直流电晕等离子体处理工业废气做了研究，分别研究了电压、气体 流量，气体浓度对处理工业废气的影响。也有很多研究者设计出了一整套处理 工业废气的装置，有的装置可在常温下进行。国外对这方面也做了大量研究， 有人用介质阻隔放电技术产生非平衡等离子体处理模拟烟道废气，有人用电晕 放电产生等离子体处理VOCs等。

目前人们对低温等离子体的研究很多，但是这些研究还未达到工业实用化 阶段，主要原因如下：在实际处理废气的过程中，控制对象模糊，难以实施有 效控制；由于受废气浓度、流量、温度等因素的影响，目前的装置很难让废气 一直处在稳定的低温等离子体状态下，导致废气降解不彻底或浪费多余能量。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上述技术问题。为此，本发明的目的在于提出 一种废气处理系统，能够提高废气处理效果，具有环保、经济和节能等优点。

为达到上述目的，本发明提出了一种废气处理系统，包括：废气处理腔； 低温等离子体产生模块，所述低温等离子体产生模块对应所述废气处理腔设 置，所述低温等离子体产生模块通过对所述废气处理腔内的废气放电以产生低 温等离子体；废气参数获取模块，所述废气参数获取模块用于获取进入所述废 气处理腔的废气的参数；主控制器，所述主控制器分别与所述废气参数获取模 块和所述低温等离子体产生模块相连，所述主控制器用于根据所述废气的参数 对所述低温等离子体产生模块进行控制，以使整个所述废气处理腔内的低温等 离子体保持稳定状态。

根据本发明实施例的废气处理系统，通过废气参数获取模块获取进入 废气处理腔的废气的参数，通过主控制器根据废气的参数对低温等离子体 产生模块进行控制，以使整个废气处理腔内的低温等离子体保持稳定状态， 由此，能够提高废气处理效果，并能够避免浪费多余的能量，具有环保、 经济和节能等优点。

另外，根据本发明上述实施例提出的废气处理系统还可以具有如下附加的 技术特征：

所述废气处理腔包括N个低温等离子体区，其中，N为正整数，每个低 温等离子区内设置有对应的极板，所述低温等离子体产生模块包括N个电源， 所述N个电源与所述N个低温等离子区内的极板一一对应相连，每个所述电 源为对应的极板供电以使对应的低温等离子区内产生低温等离子体。