[发明专利]激光清洁装置及方法

权利要求书

1.一种激光清洁装置，用于清洁试片，该装置包括：

激光模块，其用以提供激光光束；

激光光束调控模块，其同时包含有能量补偿单元与发散角优化单元两者，其中，该发散角优化单元用以调整该激光光束的发散角，且该能量补偿单元依据该试片的清洁位置补偿该激光光束所需的激光能量；

波长切换单元，其介于该激光模块和同时包含有该能量补偿单元与该发散角优化单元两者的该激光光束调控模块之间以依据制作工艺需求切换该激光光束输出的波长；

至少一光学元件，其导引来自该波长切换单元的该激光光束通过同时包含有该能量补偿单元与该发散角优化单元两者的该激光光束调控模块；以及

光路传导模块与具有开口的吸嘴，该激光模块所提供的该激光光束依序通过该波长切换单元、同时包含有该能量补偿单元与该发散角优化单元两者的该激光光束调控模块、该光路传导模块和该吸嘴的开口，该吸嘴的开口的第一直径小于或等于该光路传导模块所传导的该激光光束的第二直径，且该光路传导模块所传导的该激光光束通过具有小于或等于该第二直径的该第一直径的该吸嘴的开口后形成一具有稳定激光能量的稳定激光光束。

2.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该波长切换单元包含至少一反射镜及一倍频晶体。

3.根据权利要求2所述的激光清洁装置，其特征为，该倍频晶体产生具有波长532nm的绿光与波长1064nm的红外光激光光束，再经分光镜分光产生具有波长532nm的绿光激光光束输出至该激光光束调控模块，以作第一次清洁该试片的探针的尖部含有锡(Sn)金属的污层。

4.根据权利要求3所述的激光清洁装置，其特征为，该波长切换单元切换其内的反射镜的角度，使该激光模块的激光光束通过该反射镜的下方，并以具有波长1064nm的红外光激光光束输出至该激光光束调控模块内，以作第二次清洁该试片的探针的尖部含有氧化层SnO₂的污层。

5.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该波长切换单元将该激光光束经倍频晶体产生具有波长532nm的绿光与波长1064nm的红外光激光光束，经反射镜输出至该激光光束调控模块，作一次清洁该试片的探针的尖部含有锡(Sn)金属与氧化层SnO₂的污层。

6.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块、激光光束调控模块与光学元件设置于第一机台内。

7.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块、能量补偿单元与发散角优化单元分别设于载体上方的不同高度位置。

8.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元用于缩小该激光光束的发散角以产生准直激光光束。

9.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元包括第一镜片、第二镜片与第三镜片。

10.根据权利要求9所述的激光清洁装置，其特征为，该第一镜片为凹透镜，而该第二镜片与该第三镜片均为凸透镜。

11.根据权利要求9所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元通过调整该第二镜片与该第三镜片的间距，借此缩小该激光模块所提供的该激光光束的发散角以产生准直激光光束。

12.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该能量补偿单元包含有半波片与分光镜，并依据该试片的不同清洁位置将该半波片旋转至所需角度，且通过该半波片的旋转角度与该分光镜补偿激光能量而形成补偿激光光束。

13.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该装置还包括导光臂，其固定于L型板的通孔上，并传导来自该能量补偿单元与该发散角优化单元的至少其中一者的激光光束，以借由该激光光束清洁该试片。