[发明专利]一种热喷涂旋转靶材设备工装有效
申请号: | 201810447753.5 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN108570637B | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 雷雨 | 申请(专利权)人: | 广州市尤特新材料有限公司 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12 |
代理公司: | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄华莲;郝传鑫 |
地址: | 510880 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 尾座 承重平台 从动端 靶材 锁紧装置 主动端 冷却装置 驱动装置 设备工装 旋转靶材 热喷涂 喷涂过程 生产效率 组件固定 上移动 甩动 保证 | ||
1.一种热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台,所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件,所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端,所述驱动装置与所述主动端组件相连接,所述尾座位于所述承重平台台面的另一端,所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接,所述尾座可在所述承重平台上移动,且所述尾座与所述从动端组件相连接,所述冷却装置还包括芯轴组件,所述主动端组件包括有固定接头、主轴内管、快速接头公头和用于定位所述靶材第一端的主动端头,所述主动端头具有中心通孔,所述主轴内管的第一端和所述快速接头公头分别连接于所述中心通孔的两端;所述芯轴组件包括芯轴和快速接头母头,所述快速接头母头与所述芯轴的第一端相连接,所述快速接头公头与所述快速接头母头可拆卸地连接;所述芯轴为空心管轴,所述快速接头公头和所述快速接头母头均具有内部通道,所述主轴内管的管腔、所述快速接头公头的内部通道、所述快速接头母头的内部通道与所述芯轴的管腔依次连通;所述主轴内管的第二端连接于所述固定接头,且所述主轴内管的第二端为进液端。
2.根据权利要求1所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述快速接头公头的外壁上具有凹陷,所述快速接头母头上具有手柄和锁扣部,所述手柄与所述锁扣部连接,所述锁扣部与所述凹陷相配合。
3.根据权利要求1所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述主动端组件包括传动管轴,所述传动管轴的一端通过轴承连接于所述固定接头,所述传动管轴的另一端连接于所述主动端头,且所述传动管轴套设于所述主轴内管外;所述驱动装置与所述传动管轴连接,且所述驱动装置用于驱动所述传动管轴旋转;所述固定接头设有回液口和接头内腔,所述传动管轴的内壁与所述主轴内管的外壁之间形成流通通道,所述主动端头设有端头内腔和外围通孔,所述外围通孔设于所述中心通孔的周边,所述回液口、所述接头内腔、所述流通通道、所述端头内腔和所述外围通孔依次连通。
4.根据权利要求3所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述传动管轴包括主动主轴和连接轴,所述主动主轴的一端连接于所述主动端头,所述主动主轴的另一端与所述连接轴相连接,所述连接轴通过所述轴承安装于所述固定接头;所述主动主轴和所述连接轴均为空心管轴,且所述主动主轴和所述连接轴均套设于所述主轴内管外部并形成所述流通通道;所述驱动装置包括电机和同步带轮,所述电机通过所述同步带轮与所述主动主轴连接。
5.根据权利要求1所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述从动端组件包括从动主轴和用于定位所述靶材第二端的从动端头,所述从动端头与所述从动主轴相连接,所述芯轴的第二端连接于所述从动端头;所述从动主轴设有主轴内腔,所述芯轴的第二端伸入所述主轴内腔,且所述芯轴的管腔与所述主轴内腔相连通;所述从动端头设有内部空腔和通液孔,所述主轴内腔、所述内部空腔和所述通液孔依次连通。
6.根据权利要求5所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述尾座包括顶针,所述从动主轴远离所述芯轴的一端与所述顶针连接。
7.根据权利要求1所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述从动端锁紧装置包括止回爪、连接件和棘齿条,所述棘齿条固定在所述承重平台的侧面,所述连接件与所述尾座固定连接,所述止回爪与所述连接件可转动连接,所述止回爪可与所述棘齿条相啮合。
8.根据权利要求1所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,还包括承重装置,所述承重装置通过底座安装于所述承重平台的底部,且所述承重装置安装在所述承重平台的两端。
9.根据权利要求8所述的热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,所述承重装置包括承重轮、轮架和平衡支撑轴,所述轮架通过所述平衡支撑轴可转动地连接于所述底座,且所述轮架的两端均安装有所述承重轮。
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C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
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