[发明专利]一种嵌段共聚物、制备周期性纳米结构的引导组装方法和嵌段聚合物模板在审

专利信息
申请号: 201810448232.1 申请日: 2018-05-11
公开(公告)号: CN108546328A 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 季生象;张潇飒;韩苗苗 申请(专利权)人: 中国科学院长春应用化学研究所
主分类号: C08G63/08 分类号: C08G63/08;C08G63/78;C08G64/18;B82Y40/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 130022 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 嵌段共聚物 纳米结构 基材 式( 1 ) 式( 2 ) 半导体行业 组装 嵌段 制备 垂直 周期性纳米结构 聚碳酸酯嵌段 嵌段聚合物 开环聚合 生产流程 羟基羧酸 表面能 相分离 节距 涂覆 整合 薄膜 芯片 图案 贯穿
【权利要求书】:

1.一种嵌段共聚物,其特征在于,所述嵌段共聚物中,其中一个嵌段由式(1)、式(2)或式(3)所示单体中的一种开环均聚获得;

或者,所述嵌段共聚物中,其中一个嵌段由式(1)、式(2)或式(3)所示单体中的两种或多种开环共聚获得;

其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6各自独立地选自H、卤素、C1~C12的烷基及其衍生物、C2~C12的烯基及其衍生物、C2~C12的炔基及其衍生物、C3~C8的环烷基及其衍生物、C6~C30的芳基及其衍生物、C4~C30的杂环及其衍生物;

且,所述均聚时,R1与R2不同时为H或甲基;

所述共聚时,R1与R2不同时为甲基。

2.根据权利要求1所述的嵌段共聚物,其特征在于,所述嵌段共聚物包括AB型两嵌段共聚物、ABA型三嵌段共聚物或BAB型三嵌段共聚物、AxBy型多臂嵌段共聚物(x≥1,y≥1,且x和Y不同时为1)和刷型共聚物中的一种或多种;

所述R1、R2、R3、R4、R5和R6各自独立地选自H、卤素、C1~C6的烷基及其衍生物、C3~C6的环烷基及其衍生物、C2~C6的烯基及其衍生物、C2~C6的炔基及其衍生物、C6~C25的芳基及其衍生物、呋喃及其衍生物、噻吩及其衍生物、吡咯及其衍生物、咪唑及其衍生物、吡啶及其衍生物、哌啶及其衍生物、哌嗪及其衍生物。

3.根据权利要求2所述的嵌段共聚物,其特征在于,所述嵌段共聚物中,所述B嵌段由式(1)、式(2)或式(3)所示单体中的一种开环均聚获得;

或者,所述嵌段共聚物中,所述B嵌段由式(1)、式(2)或式(3)所示单体中的两种或多种开环共聚获得;

所述B嵌段占所述嵌段共聚物体积分数为5%~95%;

所述R1、R2、R3、R4、R5和R6各自独立地选自H、F、Cl、Br、甲基、乙基,丙基、异丙基、丁基、仲丁基、异丁基、叔丁基、乙烯基、丙烯基、烯丙基、异烯丙基、乙炔基、丙炔基、炔丙基、苯基、苄基、呋喃、噻吩、吡咯、咪唑、吡啶、哌啶和哌嗪中的一种或多种。

4.根据权利要求2或3所述的嵌段共聚物,其特征在于,所述嵌段共聚物中,所述A嵌段包括以下结构中的一种或多种:

聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸酯、聚丙烯酸酯、聚2-乙烯基吡啶、聚4-乙烯基吡啶、聚硅氧烷、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚乙二醇、聚环氧丙烷、聚乙烯、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚氨酯、聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚氟乙烯,以及上述结构的衍生物;

所述A嵌段占所述嵌段共聚物体积分数为5%~95%。

5.一种纳米结构的引导组装方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)在具有图案的基材上涂覆包含权利要求1~4任意一项所述的嵌段共聚物的材料;

2)引导所述嵌段共聚物在基材上进行相分离,得到垂直于基材、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构,形成纳米结构的图形。

6.根据权利要求5所述的引导组装方法,其特征在于,所述图案包括纳米尺寸的两亲性二维化学图案、纳米级点阵或线型的三维图案;

所述图案的周期为LS,且(n+0.2)L0≥LS≥(n-0.1)L0,n为大于等于1的整数;其中,L0为所述嵌段共聚物相分离的周期。

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