[发明专利]一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器

权利要求书

1.一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式；正面式微推进器由上盖片(1)、微流道(2)、正面微喷嘴(3)、加热盘(4)、加热蒸发腔(5)、基底(6)、励磁线圈(8)和PCB电路板(9)组成；上盖片(1)、基底(6)和PCB电路板(9)由上到下顺次布置；

所述微流道(2)制作于基底(6)的上表面，微流道(2)与供液系统相连通；

所述正面微喷嘴(3)制作在上盖片(1)上，正面微喷嘴(3)是一种贯穿孔，正面微喷嘴(3)形状为先收缩后扩张的拉瓦尔口；

所述微流道(2)与加热蒸发腔(5)制作在基底(6)上，且微流道(2)与加热蒸发腔(5)的深度相等且相互连通；

所述加热盘(4)制作在加热蒸发腔(5)的上表面的中心；

所述励磁线圈(8)制作在PCB电路板(9)上，励磁线圈(8)的形状为多边形或圆形平面螺旋线圈；励磁线圈引线电极I(7)和励磁线圈引线电极II(10)与励磁线圈(8)连接；

所述的励磁线圈引线电极I(7)和励磁线圈引线电极II(10)，分别连接交流电源两个输出端，为励磁线圈(8)通入交流电流；

侧面式微推进器的加热方式和系统组成与正面式微推进器相同，侧面式微推进器与正面式微推进器不同之处在于侧面微喷嘴(11)制作在侧面式微推进器的基底(6)上，侧面微喷嘴(11)的形状为先收缩后扩张的拉瓦尔口，侧面微喷嘴(11)通过侧面式微推进器的基底(6)侧壁与外界相连通；

基底(6)包括正面式微推进器单元(15)、侧面式微推进器单元I(16)和侧面式微推进器单元II(17)；所述正面式微推进器单元(15)共有四个，每个单元包括四个正面式微推进器，其共用一个正面式微推进器进液口(14)；

所述侧面式微推进器单元I(16)和侧面式微推进器单元II(17)各共有四个，分布两两对称；其位置在圆周上呈均匀分布；

所述励磁线圈阵列单元I(18)共有四个，其位置与正面式微推进器单元(15)相对应；所述励磁线圈阵列单元II(19)共有八个，其位置与侧面式微推进器单元I(16)和侧面式微推进器单元II(17)相对应。

2.根据权利要求1所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：加热盘(4)为圆形金属盘，加热盘(4)材料为铜、镍或坡莫合金。

3.根据权利要求1所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：上盖片(1)包括正面式微喷嘴阵列单元(12)、侧面式微推进器进液口(13)和正面式微推进器进液口(14)；PCB电路板(9)包括励磁线圈阵列单元I(18)和励磁线圈阵列单元II(19)。

4.根据权利要求3所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：所述正面式微喷嘴阵列单元(12)共有四个，其位置两两相互对称分布。

5.根据权利要求3所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：所述侧面式微推进器进液口(13)共有八个进液口，其位置在圆周上呈均匀分布。

6.根据权利要求3所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：所述正面式微推进器进液口(14)共有四个，为圆形通孔，贯穿上盖片(1)。

7.根据权利要求1所述的一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：当给励磁线圈引线电极I(7)和励磁线圈引线电极II(10)接通高频交变电流时，励磁线圈(8)产生交变磁场，在交变磁场的作用下，微加热盘(4)内产生电涡流，电涡流产生焦耳热，使加热蒸发腔(5)内部液体汽化成气体，并在微腔内形成高压气体，气体在高压的作用下经过正面微喷嘴(3)高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。