[发明专利]一种多孔式风刀装置

权利要求书

1.一种多孔式风刀装置，其特征是，包括风刀本体(10)，所述风刀本体(10)水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体(10)对称安装在基板两侧，风刀本体(10)为一体成型式结构，风刀本体(10)包括刀身(11)、刀面(12)和连接头(13)，所述刀身(11)为梯形柱状，刀身(11)的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面(12)为矩形板状，连接头(13)为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身(11)的梯形大端底面不封口端与刀面(12)连接一体，刀身(11)的梯形小端上端面不封口端与连接头(13)的柱腔连接一体，刀面(12)与刀身(11)的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔(14)和盲孔(15)，通孔(14)竖直位于连接头(13)的柱腔下方，盲孔(15)分别位于通孔(14)两侧，且一侧盲孔(15)竖直位于刀身(11)一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔(15)倾斜指向刀身(11)另一侧内腔侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述倾斜盲孔(15)指向侧的刀身(11)侧壁壁厚比另一侧刀身(11)侧壁的壁厚大。

3.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀面(12)的竖直盲孔(15)侧端部设有向上的斜坡口(16)。

4.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀身(11)外壁上设有便于挂持的连接件。

5.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述连接头(13)段设有高效空气空滤器(17)。

6.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述风刀本体(10)安装在湿式制程机台上，其外部设有隔音罩。

7.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀面(12)与基板表面的间距在125～150mils。