[发明专利]一种动态调谐的波导及微波等离子体装置

权利要求书

1.一种动态调谐的波导，其特征在于，包括波导腔体和调节装置，且所述调节装置与所述波导腔体之间可动连接，调节所述调节装置时改变所述波导腔体的场型；

所述调节装置为至少一个调节棒，每个调节棒上设置有预设长度的螺纹，所述波导腔体上设置有与所述至少一个调节棒对应的至少一个螺纹孔，所述至少一个调节棒和所述波导腔体通过螺纹连接，且所述螺纹孔的轴线与所述波导腔体的第二侧面的距离为40mm-86mm，其中，在所述波导腔体中微波的传输方向为从所述波导腔体的第一侧面至所述波导腔体的第二侧面；

所述波导腔体的截面为矩形，在所述波导腔体的外侧设置有至少一个凸台，且每个凸台上设置有至少一个螺纹孔，所述至少一个调节棒和所述至少一个凸台通过螺纹连接；

在所述波导腔体的外侧设置有两个凸台，且所述两个凸台分别设置在所述波导腔体的两个相对的面上的对应位置上；

所述两个凸台上分别设置有三个螺纹孔，所述调节装置为六个调节棒，所述六个调节棒分别与所述两个凸台通过螺纹连接；

通过改变调节装置进入波导腔体内部的距离，能够动态改变特定频率微波在波导腔体内传输时的微波场型和反射系数。

2.一种微波等离子体装置，其特征在于，包括磁控管、波导及微波谐振腔；其中，所述波导为如权利要求1所述的波导。