[发明专利]一种柔性压阻传感器

权利要求书

1.一种柔性压阻传感器，其特征在于，包括两个膜组件，所述膜组件由PDMS和涂覆在PDMS表面的rGO层构成，该膜组件正面具有金字塔阵列；两个膜组件正面相对，其表面的金字塔阵列相互嵌合。

2.根据权利要求1所述的柔性压阻传感器，其特征在于，传感器的信号输出是通过两个铜电极实现的，铜电极通过银胶粘贴于rGO层，两个铜电极关于膜组件中心对称。

3.根据权利要求1所述的柔性压阻传感器，其特征在于，两个膜组件封装在PDMS内。

4.根据权利要求1所述的柔性压阻传感器，其特征在于，所述膜组件通过以下步骤制备得到：

(1)将正庚烷，乙酸乙酯，十八烷基三甲氧基硅氧烷按照体积比1000:50:20配置成溶液，将硅模板浸泡在该溶液中两小时，进行疏水处理。所述硅模板正面带有金字塔阵列结构；

(2)将PDMS与交联剂按质量比10:1比例混合均匀后，反复真空除气泡，旋涂在疏水处理后的硅模板表面。将涂有PDMS的硅模板放在鼓风干燥机中，60℃加热2小时。固化后，与硅模板水中剥离。

(3)对表面具有金字塔微结构的PDMS表面进行氧等离子处理，增加其表面亲水性。

(4)将具有金字塔微结构的PDMS反复涂抹rGO溶液。待溶液干燥后即可进行组装，以获得柔性压阻传感器。

5.根据权利要求4所述的柔性压阻传感器，其特征在于，所述rGO溶液的浓度为1mg/ml。

6.根据权利要求1所述的柔性压阻传感器，其特征在于，所述rGO层的厚度大约在500μm左右。