[发明专利]加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法

说明书

本发明提供了加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法。该加热曝气系统包括：曝气子系统、控制子系统和加热子系统；控制子系统与加热子系统电连接，用于实时监测加热子系统中气体的温度值，并根据该温度值控制加热子系统调节该气体的温度，使该气体的温度达到指定数值；加热子系统与曝气子系统相连，用于当加热子系统中气体的温度达到该指定数值时，将该气体输入至曝气子系统。通过将加热的气体输入至气泡装置中，使得气泡装置中附着在孔周围的沉淀物随着温度的升高而加速溶解，从而减少孔周围的沉淀物；加热使得附着在孔周围的胶体能量升高，使得胶体颗粒之间的碰撞机会随之增加，破坏了胶体的稳定性，降低了胶体吸附孔的能力。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体而言，本发明涉及加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法。

背景技术

随着科技的不断发展，各类显示面板为了追求美观和性能上的优化等，都尽力做到轻薄。

目前，减薄工艺是减小显示面板厚度的一个重要的工艺，主要是利用刻蚀液将显示面板中的玻璃基底处理成符合需求厚度的玻璃基板，从而减小显示面板的厚度；其中，减薄原理具体是酸性刻蚀液可与玻璃基底发生化学反应，从而削减玻璃基底的厚度。现有的减薄设备通常包括：刻蚀槽、水洗槽以及位于槽底的气泡装置，其中，气泡装置主要用于将刻蚀槽中的刻蚀液混合均匀，从而将玻璃基板均匀刻蚀，以及使得水洗槽可以全面地清洗刻蚀后的玻璃基底，等等。

在实际的刻蚀过程中，酸性刻蚀液与玻璃基底发生化学反应生成沉淀物，例如，刻蚀液中的盐酸和氢氟酸，与玻璃中的二氧化硅反应生成氟硅酸盐、硅酸盐，由于气泡装置是由多个孔组成，生成的氟硅酸盐、硅酸盐会结晶附着在这些孔上，很容易将这些孔堵住。另外，刻蚀液中的硅酸盐所包含的硅酸离子，很容易与水中的氢离子结合生成硅酸，硅酸在溶液状态时呈现为胶体，胶体的硅酸也很容易将这些孔堵住。

在实际操作中，气泡装置每隔4-8小时就会因为沉淀物或胶体堵塞孔产生多种不良影响，为保证气泡装置正常工作，用户会频繁地清理气泡装置，以保证气泡装置中的孔畅通，但由于气泡装置通常包含有大量的孔，每次清理耗时较长，导致减薄效率较低，减薄成品率也较低。

发明内容

针对上述问题，本发明提出了加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法，在刻蚀过程中，通过对气泡装置进行加热，减少孔附近附着的沉淀物，以及减小孔附近胶体对孔的吸附性，进而延长清理气泡装置的使用时间，减小清洗气泡装置的频率，提高减薄效率。

本发明实施例提供了一种加热曝气系统，包括：曝气子系统、控制子系统和加热子系统；

控制子系统与加热子系统电连接，用于实时监测加热子系统中气体的温度值，并根据该温度值控制加热子系统调节该气体的温度，使该气体的温度达到指定数值；

加热子系统与曝气子系统相连，用于当加热子系统中气体的温度达到该指定数值时，将该气体输入至曝气子系统。

优选地，加热子系统包括：加热腔体、加热装置、测温装置；

控制子系统包括：温度控制器；加热腔体与曝气子系统相连，用于当加热腔体中气体的温度达到该指定数值时，将该气体输入至曝气子系统中；

加热装置位于加热腔体中，用于为加热腔体中的气体加热；

测温装置设置在加热腔体中的指定位置处，与温度控制器电连接，用于实时监测该指定位置处的气体温度值，并将该气体温度值发送至温度控制器；

温度控制器与加热装置相电连接，用于接收测温装置发送的气体温度值，并根据该温度值控制加热装置对加热腔体中的气体加热，使该气体的温度达到该指定数值。

优选地，加热子系统还包括：进气阀和出气阀；

进气阀设置在加热腔体的外表面上，且与加热腔体相连，用于为加热腔体充气；